特許
J-GLOBAL ID:200903030884387347
積層箔
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-110732
公開番号(公開出願番号):特開2001-293812
出願日: 2000年04月12日
公開日(公表日): 2001年10月23日
要約:
【要約】【課題】 中間層とその両方の面側に配置する金属箔として適切な金属の組合せを選択することで選択エッチング性に優れた積層箔を提供する。【解決手段】 IVa族金属若しくはIVa族金属を主成分とする合金でなる中間層を有する積層箔において、前記中間層の少なくとも一方の面側には、前記IVa族金属との固溶度が互いに3原子%以下である金属箔が配置されている積層箔。
請求項(抜粋):
SnまたはSn合金でなる中間層を有する積層箔において、前記中間層の両方の面側には、前記中間層とはエッチング性が異なる金属箔が配置されていることを特徴とする積層箔。
IPC (3件):
B32B 15/01
, H01L 23/48
, H05K 1/09
FI (3件):
B32B 15/01 Z
, H01L 23/48 J
, H05K 1/09 C
Fターム (35件):
4E351AA03
, 4E351BB01
, 4E351BB23
, 4E351BB24
, 4E351BB30
, 4E351BB35
, 4E351DD01
, 4E351DD04
, 4E351DD12
, 4E351DD21
, 4E351DD54
, 4E351GG11
, 4F100AB17B
, 4F100AB21A
, 4F100AB21D
, 4F100AB21E
, 4F100AB33A
, 4F100AB33B
, 4F100AB33C
, 4F100AB33D
, 4F100AB33E
, 4F100BA03
, 4F100BA05
, 4F100BA06
, 4F100BA10B
, 4F100BA10C
, 4F100BA27
, 4F100BA41
, 4F100EH66A
, 4F100EJ15B
, 4F100EJ15C
, 4F100GB41
, 4F100JL01
, 4F100YY00D
, 4F100YY00E
引用特許:
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