特許
J-GLOBAL ID：200903031213634834

ステージ装置及び露光装置、並びにデバイス製造方法

発明者：
柴崎 祐一

柴崎 祐一 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-093517
公開番号（公開出願番号）：特開2009-158973
出願日： 2009年04月08日
公開日（公表日）： 2009年07月16日
要約：
【課題】ステージの位置制御性の向上を図る。【解決手段】 レチクルステージRSTを駆動する駆動機構は、レチクルステージRSTのレチクルRが載置される領域のX軸方向の一側、他側のいずれにおいても、可動子262(又は282)、レチクルステージ本体22、可動子261(又は281)の積層構造になっているとともに、その可動子同士は、レチクルステージRSTの中立面に関して対称の配置となっている。レチクルステージRSTの中立面は、その重心の高さ位置(Z軸方向の位置)に略一致しているので、左右各一対の可動子と対応する固定子1361〜1382との協働によって発生するY軸方向の駆動力の合力が、レチクルステージRSTの重心位置に作用することとなる。従って、レチクルステージRSTのY軸方向の位置制御性の向上、及びレチクルステージRSTのX軸回りの回転の抑制が可能である。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
定盤と; 前記定盤の上方に浮上しつつ物体を保持して前記定盤に沿って移動可能なスライダと; 前記スライダの前記物体が載置される領域の第1軸方向に直交する第2軸方向の一側と他側とに前記スライダの中立面を基準としてそれぞれ対称に配置された各一対の可動子と、当該各対の可動子と個別に協働して前記第1軸方向の駆動力をそれぞれ発生する一対の固定子部とを有する駆動機構と;を備えるステージ装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/68
FI (3件)：
H01L21/30 515F ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/68 K
Fターム (23件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031HA13 ,  5F031HA57 ,  5F031JA06 ,  5F031JA22 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031LA03 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F046AA22 ,  5F046BA05 ,  5F046CC02 ,  5F046CC13 ,  5F046CC16 ,  5F046CC17 ,  5F046DA06 ,  5F046DA27 ,  5F046DB05 ,  5F046DC05
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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