特許
J-GLOBAL ID：200903031416437210

基板処理装置およびその方法ならびに基板搬送装置

発明者：
光吉 一郎

光吉 一郎 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-333231
公開番号（公開出願番号）：特開2009-260252
出願日： 2008年12月26日
公開日（公表日）： 2009年11月05日
要約：
【課題】基板の搬送時間を十分に短縮できる基板処理装置およびその方法ならびに基板搬送装置を提供する。【解決手段】インデクサブロックおよび処理ブロックからなる基板処理装置において、インデクサブロックと処理ブロックとの間で、基板WがインデクサロボットIRにより搬送される。インデクサロボットIRは上下に並ぶように設けられた複数のハンド要素260を備える。ハンド要素260間の距離は、インデクサブロックに搬入される基板Wが収納されたキャリアの基板収納溝間の距離と等しい。また、インデクサブロックおよび処理ブロック間に設けられる基板載置部PASS2の上下に隣接する支持板51a間(および支持板52a間)の距離は、ハンド要素260間の距離の2倍である。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
基板に処理を行う基板処理装置であって、 複数の基板が略水平姿勢で収納される収納容器が載置される容器載置部と、 前記容器載置部と対向するように配置され、少なくとも前記収納容器に収納可能な基板の最大数と同数の基板が略水平姿勢で載置される複数段の収納棚を有する基板載置棚と、 前記基板載置棚を介して搬送される基板に処理を行う処理部と、 複数の基板を一括して保持することができ前記収納容器に収納可能な基板の最大数と同数の複数の基板保持部を有し、前記容器載置部と前記基板載置棚との間で複数の基板を一括して搬送する第1の基板搬送装置と、 基板を一枚ずつ保持することができる複数の基板保持部を有し、前記基板載置棚と前記処理部との間で基板を搬送する第2の基板搬送装置とを備えることを特徴とする基板処理装置。
IPC (5件)：
H01L 21/677 ,  B65G 49/07 ,  B25J 15/00 ,  B25J 9/04 ,  H01L 21/304
FI (8件)：
H01L21/68 A ,  H01L21/68 D ,  B65G49/07 E ,  B65G49/07 F ,  B25J15/00 D ,  B25J9/04 B ,  H01L21/304 648B ,  H01L21/304 648D
Fターム (64件)：
3C007AS03 ,  3C007AS24 ,  3C007BS06 ,  3C007CT02 ,  3C007CT04 ,  3C007CT05 ,  3C007CV03 ,  3C007DS06 ,  3C007DS10 ,  3C007ES17 ,  3C007NS12 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA17 ,  5F031EA06 ,  5F031EA19 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA15 ,  5F031FA21 ,  5F031FA24 ,  5F031FA25 ,  5F031GA03 ,  5F031GA06 ,  5F031GA10 ,  5F031GA14 ,  5F031GA15 ,  5F031GA35 ,  5F031GA38 ,  5F031GA40 ,  5F031GA42 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031JA02 ,  5F031JA23 ,  5F031KA03 ,  5F031LA12 ,  5F031LA13 ,  5F031LA14 ,  5F031LA15 ,  5F031MA02 ,  5F031MA03 ,  5F031MA13 ,  5F031MA23 ,  5F031PA02 ,  5F031PA25 ,  5F157AB03 ,  5F157AB46 ,  5F157AB48 ,  5F157AB51 ,  5F157AB62 ,  5F157CE09 ,  5F157CE21 ,  5F157CF02 ,  5F157CF98 ,  5F157DB46 ,  5F157DC51 ,  5F157DC90
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 基板処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-306885   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
審査官引用 (6件)
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