特許
J-GLOBAL ID:200903031427427895

相互接続部形成方法および電子構造

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 坂口 博 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-255321
公開番号(公開出願番号):特開平10-107066
出願日: 1997年09月19日
公開日(公表日): 1998年04月24日
要約:
【要約】【課題】 電子デバイス上に相互接続部を作製する方法を提供する。【解決手段】 微小凹部を有する成形型10に溶融ハンダ22をフローして、凹部を充填し、凝固させる。次に、成形型を、高溶融温度ハンダバンプ40が付着されたチップを含むウェハ30に位置合わせする。これにより、成形型の各微小凹部は、チップ上の各高溶融温度ハンダバンプに位置合わせされる。次に、位置合わせされた成形型/ウェハ・アセンブリ50を、リフロー炉に通して、成形凹部内の低溶融温度ハンダを、ウェハ上の高溶融温度ハンダバンプの頂部上に転写する。これにより、2種類の異なるハンダ合金によって2層金属組成物バンプが形成される。
請求項(抜粋):
電子構造であって、前記電子構造上に付着され、前記電子構造に電気的接続を形成する相互接続部を備え、前記相互接続部は、少なくとも2種類の材料を互いに密接して有し、一方の材料は、低溶融温度を有し、他方の材料は高溶融温度を有し、前記低溶融温度材料は、電気的接続が形成される相互接続部上の領域において、前記高溶融温度材料を少なくとも部分的に覆っている、ことを特徴とする電子構造。
IPC (2件):
H01L 21/60 311 ,  B23K 35/26 310
FI (2件):
H01L 21/60 311 Q ,  B23K 35/26 310 B
引用特許:
審査官引用 (24件)
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