特許
J-GLOBAL ID:200903031427427895
相互接続部形成方法および電子構造
発明者:
,
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
坂口 博 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-255321
公開番号(公開出願番号):特開平10-107066
出願日: 1997年09月19日
公開日(公表日): 1998年04月24日
要約:
【要約】【課題】 電子デバイス上に相互接続部を作製する方法を提供する。【解決手段】 微小凹部を有する成形型10に溶融ハンダ22をフローして、凹部を充填し、凝固させる。次に、成形型を、高溶融温度ハンダバンプ40が付着されたチップを含むウェハ30に位置合わせする。これにより、成形型の各微小凹部は、チップ上の各高溶融温度ハンダバンプに位置合わせされる。次に、位置合わせされた成形型/ウェハ・アセンブリ50を、リフロー炉に通して、成形凹部内の低溶融温度ハンダを、ウェハ上の高溶融温度ハンダバンプの頂部上に転写する。これにより、2種類の異なるハンダ合金によって2層金属組成物バンプが形成される。
請求項(抜粋):
電子構造であって、前記電子構造上に付着され、前記電子構造に電気的接続を形成する相互接続部を備え、前記相互接続部は、少なくとも2種類の材料を互いに密接して有し、一方の材料は、低溶融温度を有し、他方の材料は高溶融温度を有し、前記低溶融温度材料は、電気的接続が形成される相互接続部上の領域において、前記高溶融温度材料を少なくとも部分的に覆っている、ことを特徴とする電子構造。
IPC (2件):
H01L 21/60 311
, B23K 35/26 310
FI (2件):
H01L 21/60 311 Q
, B23K 35/26 310 B
引用特許:
審査官引用 (24件)
-
突起電極を有する電子部品及び突起電極の形成方法並びに突 起電極を有する電子部品のボンディング方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-191008
出願人:カシオ計算機株式会社
-
半田バンプの形成方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-048599
出願人:松下電器産業株式会社
-
特開平4-321230
-
特開平4-263433
-
特開平4-242943
-
フリップチップ実装方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-247682
出願人:松下電器産業株式会社
-
特開平4-264731
-
特開昭64-007638
-
バンプの形成方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-034375
出願人:松下電器産業株式会社
-
フリップチップ及びその接合方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-003148
出願人:株式会社東芝
-
特開平4-321230
-
特開平4-242943
-
特開平2-207532
-
半導体装置のバンプ形成方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-272581
出願人:松下電子工業株式会社
-
特開平3-062927
-
特開平4-263434
-
特開平4-321230
-
特開平4-242943
-
特開平2-207532
-
特開平3-062927
-
特開平4-263434
-
特開平4-263433
-
特開平4-321230
-
特開平4-242943
全件表示
前のページに戻る