特許
J-GLOBAL ID：200903031587129130
光照射装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
七條 耕司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-145863
公開番号（公開出願番号）：特開2006-324435
出願日： 2005年05月18日
公開日（公表日）： 2006年11月30日
要約：
【課題】複数の超高圧水銀ランプを一斉点灯させた際に生ずる熱の問題や超高圧水銀ランプから放射される可視領域または赤外領域の光が隣接する他の光源に照射されることによって生ずる問題を良好に解決することのできる光照射装置を提供すること。【解決手段】発光管内に0.08mg/mm3以上の水銀が封入された超高圧水銀ランプと、光軸が該超高圧水銀ランプの管軸と略一致して該超高圧水銀ランプを取り囲む反射鏡とからなる光源3を複数備え、各光源3から放射される光を光照射領域において重ね合わせて照射する光照射装置において、光源3は、光出射口を有する支持体5に互いに離間して固定され、前記離間する各光源3間に、隣接する光源3への光を遮断する隔離壁15を設けたことを特徴とする光照射装置である。 【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
発光管内に0.08mg/mm3以上の水銀が封入された超高圧水銀ランプと、光軸が該超高圧水銀ランプの管軸と略一致して該超高圧水銀ランプを取り囲む反射鏡とからなる光源を複数備え、前記各光源から放射される光を光照射領域において重ね合わせて照射する光照射装置において、
前記光源は、光出射口を有する支持体に互いに離間して固定され、前記離間する各光源間に、隣接する光源への光を遮断する隔離壁を設けたことを特徴とする光照射装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 527
, G03F7/20 521
5F046AA22
, 5F046BA02
, 5F046CA02
, 5F046CA10
, 5F046CB13
, 5F046CB22
, 5F046DA01
, 5F046DA26
出願人引用 (1件)
-
露光用照明装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-161233
出願人：株式会社目白ゲノッセン
審査官引用 (8件)
全件表示
前のページに戻る
