特許
J-GLOBAL ID：200903031752152746

外力計測装置

発明者：
持田 洋一

持田 洋一 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (1件)： 広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-402395
公開番号（公開出願番号）：特開2002-081939
出願日： 2000年12月28日
公開日（公表日）： 2002年03月22日
要約：
【要約】【課題】 各質量部を連結する支持梁を適切な位置で支持することにより、質量部の振動が基板に伝わるのを防止し、検出精度を高めて信頼性を向上させる。【解決手段】 中央質量部3と一対の外側質量部4,4とを支持梁5によってX軸方向に変位可能に連結する。そして、角速度センサ1の作動時には、振動発生手段10によって質量部3,4をX軸方向に対して互いにほぼ逆位相で振動させ、この状態でY軸周りの角速度Ωが加わるときには、質量部3,4がZ軸方向に変位するときの変位量を角速度Ωとして検出する。また、基板2上に設けた固定部6は、支持梁5のうち質量部3,4が互いに逆位相で振動するときの節に対応する節部5Aを支持することにより、質量部3,4の振動が基板2に伝わるのを抑制する。
請求項（抜粋）：
基板と、該基板と隙間をもって対向し互いに直交するX軸,Y軸,Z軸からなる3軸方向のうちY軸方向に並んで配置され振動発生手段によってX軸方向に互いに逆位相で振動する複数の質量部と、該各質量部をX軸方向に変位可能に連結する支持梁と、該支持梁と前記基板との間に設けられ該支持梁を前記基板に接続する固定部と、前記各質量部に角速度または加速度が作用したときに該各質量部がY軸とZ軸のうちいずれか一方の軸方向に変位する変位量を角速度または加速度として検出する外力検出手段とによって構成してなる外力計測装置。
IPC (2件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
Fターム (7件)：
2F105BB03 ,  2F105BB11 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD11 ,  2F105CD13
引用特許：
審査官引用 (6件)
  • 角速度センサ及びその使用方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-168724   出願人：日本電装株式会社
  • 振動角速度計
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-298032   出願人：株式会社ニコン
  • 特開平3-172713
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