水平型及び音叉型振動式マイクロジャイロスコープ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：三好秀和 , 三好保男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-270263
公開番号（公開出願番号）：特開2004-205492
出願日： 2003年07月02日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：

【課題】本発明は移動体の回転による角速度及び角加速度を感知するためのマイクロジャイロスコープに関するもので、とりわけ音叉ジャイロにおいて感知モードの共振方向と加振モードの共振方向とが同平面上となる水平型モードに具現した水平型及び音叉型振動式マイクロジャイロスコープに関するものである。【解決手段】本発明は、基板(105);固定部(110);外部弾性部材(120);外部フレーム部(130);感知電極部(140);内部弾性部材(150);櫛歯構造の加振コームを各々有す一対の第1、第2内部質量体を含む内部質量部(160);櫛歯構造のコーム加振器(comb drive)を含む加振電極部(170);を備えることを要旨とする。このように構成された本発明によると、音叉ジャイロにおいて感知モードの共振方向と加振モードの共振方向とが同平面上となる水平型モードに具現することできる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

実質的に垂直なX軸及びY軸による水平方向の平面構造を有する基板(105)と、前記基板に固定される複数の固定パッドを含む固定部(110)と、前記固定部の各固定パッドの各々に一端が連結された複数の外部弾性体を含む外部弾性部材(120)と、実質的に四角形状から成り、前記外部弾性部材の複数の外部弾性体の各他端に連結されて前記基板から一定間隔浮いており、当該基板の外側に形成された櫛歯構造の振動電極フィンガーを有する外部フレーム部(130)と、前記外部フレーム部の櫛歯構造の振動電極フィンガーに設定間隔ほど離隔しながら相互に噛み合う櫛歯構造に形成された複数の感知電極を含む感知電極部(140)と、前記外部フレームの内側に連結された複数の内部弾性体を含む内部弾性部材(150)と、前記内部弾性部材の複数の内部弾性体に連結され、櫛歯構造の加振コームを各々有する一対の第1、第2内部質量体を含む内部質量部(160)と、前記内部質量部の各内部質量体の加振コームの各々に設定間隔ほど離隔しながら噛み合う櫛歯構造のコーム加振器を有する第1、第2加振電極を含む加振電極部(170)と、を具備することを特徴とする水平型及び音叉型振動式マイクロジャイロスコープ。

IPC (2件)：

G01C19/56 , G01P9/04

FI (2件)：

G01C19/56 , G01P9/04

Fターム (8件)：

2F105AA02 , 2F105BB03 , 2F105CC01 , 2F105CC11 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD07 , 2F105CD13

引用特許：

審査官引用 (6件)

角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-359835 出願人：株式会社デンソー, 株式会社日本自動車部品総合研究所
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-114291 出願人：株式会社村田製作所
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-171869 出願人：アイシン精機株式会社

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