表示装置およびその作製方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-072314
公開番号（公開出願番号）：特開2004-311418
出願日： 2004年03月15日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：

【課題】シュウ酸などの弱酸性溶液を用いたエッチングにおいても、透明導電膜の残渣を生じず、特に発光素子の電極として適した電極構造を有する表示装置を提供すること。【解決手段】本発明の表示装置は、透明導電膜が積層した積層構造の電極を有する表示装置であり、前記電極は、弱酸性溶液を用いたエッチングにおいて残渣を生じない第1の透明導電膜を最下層とし、仕事関数が5.0eV以上の第2の透明導電膜を最上層としていることを特徴としている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

トランジスタと、前記トランジスタと電気的に接続する電極とを有し、前記電極は、酸化珪素または珪素のいずれか一若しくは両方を含むインジウム錫酸化物から成る第1の透明導電膜を最下層に有し、インジウム錫酸化物から成る第2の透明導電膜を最上層に有することを特徴とする表示装置。

IPC (4件)：

H05B33/28 , G02F1/1343 , G02F1/1368 , H05B33/14

FI (5件)：

H05B33/28 , G02F1/1343 , G02F1/1368 , H05B33/14 A , H05B33/14 Z

Fターム (12件)：

2H092GA17 , 2H092HA04 , 2H092JA24 , 2H092JB01 , 2H092MA17 , 2H092NA13 , 3K007AB03 , 3K007AB05 , 3K007CB01 , 3K007DB03 , 3K007FA00 , 3K007FA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

特許第3257913号(第2頁、第1図)

審査官引用 (9件)

特開昭64-010507
透明導電膜とその製造方法および透明導電膜付き基体
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-282950 出願人：旭硝子株式会社
マトリクスアレイ基板
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-150183 出願人：株式会社東芝

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