直線駆動装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：久保幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-071021
公開番号（公開出願番号）：特開2006-247812
出願日： 2005年03月14日
公開日（公表日）： 2006年09月21日
要約：

【課題】少なくとも3つのユニットが互いに相対移動するように構成された直線駆動装置において、その構造を簡単化すること。【解決手段】第1ユニット11、第2ユニット12、および第3ユニット13が、この順に配置され、同一の軸線に沿って互いに相対移動するように設けられており、第1ユニットと第2ユニットとは、第1のネジ軸51とそれに螺合する第1のナット52によってそれぞれ互いに軸方向に連結され、第1のナット52が回転することによってそれらの間の距離が可変され、第2ユニット12と第3ユニット13とは、第2のネジ軸55とそれに螺合する第2のナット56によってそれぞれ互いに軸方向に連結され、第2のネジ軸55が回転することによってそれらの間の距離が可変され、第1のネジ軸51と第2のネジ軸55とはネジの巻き方向が互いに逆となっており、第2ユニット12には回転駆動のためのモータM1が設けられてなる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

第1ユニット、第2ユニット、および第3ユニットが、この順に配置され、かつ、同一の軸線に沿って互いに相対移動するように設けられており、前記第1ユニットと前記第2ユニットとは、第1のネジ軸とそれに螺合する第1のナットによってそれぞれ互いに軸方向に連結され、かつ、前記第1のネジ軸または前記第1のナットが回転することによってそれらの間の距離が可変されるように配置されており、前記第2ユニットと前記第3ユニットとは、第2のネジ軸とそれに螺合する第2のナットによってそれぞれ互いに軸方向に連結され、かつ、前記第2のネジ軸または前記第2のナットが回転することによってそれらの間の距離が可変されるように配置されており、前記第1のネジ軸と前記第2のネジ軸とはネジの巻き方向が互いに逆となっており、前記第2ユニットには、前記第1のネジ軸または前記第1のナット、および前記第2のネジ軸または前記第2のナットを回転駆動するモータが設けられてなる、ことを特徴とする直線駆動装置。

IPC (4件)：

B25J 18/02 , B25J 19/00 , B65G 49/07 , H01L 21/677

FI (4件)：

B25J18/02 , B25J19/00 H , B65G49/07 D , H01L21/68 A

Fターム (16件)：

3C007AS01 , 3C007AS24 , 3C007BS15 , 3C007CT04 , 3C007CU03 , 3C007CY27 , 3C007HS27 , 3C007HT02 , 3C007HT19 , 5F031CA02 , 5F031FA01 , 5F031GA43 , 5F031GA49 , 5F031LA12 , 5F031LA13 , 5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (2件)

ウェハ搬送機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-206082 出願人：日本エー・エス・エム株式会社
昇降ユニット及びロボット装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-182392 出願人：平田機工株式会社

審査官引用 (5件)

円筒座標型ロボット
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-296563 出願人：株式会社小松製作所
直線動作装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-186751 出願人：株式会社安川電機
円筒座標型ロボット
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-181187 出願人：新明和工業株式会社

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