特許
J-GLOBAL ID：200903032548120297
透過型電子顕微鏡による反応プロセス観察方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-213044
公開番号（公開出願番号）：特開平11-054578
出願日： 1997年08月07日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 透過型電子顕微鏡での加熱同時観察を少ない試料で正しく行う。【解決手段】 試料5の表面側の領域9に対してGaイオンビーム8を照射して透過型電子顕微鏡による観察が可能な厚み50nm〜200nmの薄片部10を形成する。この試料5を透過型電子顕微鏡内で加熱しながら薄片部10でシリサイド化状態を観察する。その後、試料5の厚い領域11に薄片部10と同様にして薄片部12を形成する。そして、薄片部10と薄片部12とを透過型電子顕微鏡で比較観察する。その結果、薄片部12と薄片部10との観察結果が同じであれば、薄片部10で加熱同時観察した結果はバルク状態での現象とする。これに対して、薄片部12と薄片部10の観察結果が異なる場合には、薄片部10で加熱同時観察した結果は薄片状態加熱による特有の現象であるとする。こうして、透過型電子顕微鏡での加熱同時観察を少ない試料で正しく行う。
請求項（抜粋）：
透過型電子顕微鏡によって加熱処理時の反応プロセスを観察する透過型電子顕微鏡による反応プロセス観察方法であって、試料の一部分を電子線が透過できる厚さに薄片化して第1の薄片部を形成し、上記薄片部が形成された試料を透過型電子顕微鏡にセットして、上記第1の薄片部において加熱同時観察を行い、加熱処理終了後に上記試料を透過型電子顕微鏡から取り出し、上記試料における第1の薄片部が形成された箇所とは異なる箇所を電子線が透過できる厚さに薄片化して第2の薄片部を形成し、上記2つの薄片部が形成された試料を透過型電子顕微鏡にセットして、上記2つの薄片部において非加熱観察を行うことを特徴とする透過型電子顕微鏡による反応プロセス観察方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/66 J
, G01N 1/28 F
, G01N 1/28 N
