特許
J-GLOBAL ID：200903032553363912

基板保持装置、露光装置及びデバイス製造方法

発明者：
近藤 誠

近藤 誠 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-327988
公開番号（公開出願番号）：特開2003-249542
出願日： 2002年11月12日
公開日（公表日）： 2003年09月05日
要約：
【要約】【課題】 基板をその平坦度を高く維持した状態で支持できるとともに、その軽量化を実現する基板保持装置を提供する。【解決手段】 ホルダ本体70を構成する本体部26上面には、複数のピン部32と、ピン部の先端面とその上端面がほぼ同一高さに設定されたリム部28とが設けられている。また、本体部26は、ハニカムサンドイッチ構造体によって構成されている。また、ハニカムコアの貫通孔63aは、複数のピン部の配置に対応する配置で形成されている。そして、真空吸着機構によって、複数のピン部32それぞれの先端部分及びリム部28の先端部に対してウエハWが真空吸着される。従って、ウエハWを平坦度を高く維持した状態で吸着保持することができるとともに、その軽量化を実現することができる。
請求項（抜粋）：
平板状の基板を保持する基板保持装置であって、その一方の面の所定面積の領域内に、それぞれの先端部分がほぼ同一面上に位置するように配置された前記基板を支持する複数の突起状の第1支持部を有する保持装置本体を備え,前記保持装置本体の前記一方の面側の表層部を除く部分のうち、少なくとも前記表層部と他方の面側の表層部との間の部分に、前記複数の第1支持部の配置に対応した配置で複数の空所が形成されていることを特徴とする基板保持装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  G03F 7/22 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
H01L 21/68 N ,  H01L 21/68 P ,  G03F 7/22 H ,  H01L 21/30 515 G ,  H01L 21/30 503 C
Fターム (27件)：
5F031CA02 ,  5F031CA04 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031FA12 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA08 ,  5F031HA10 ,  5F031HA14 ,  5F031HA16 ,  5F031HA32 ,  5F031HA33 ,  5F031HA53 ,  5F031JA06 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA32 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031MA27 ,  5F031PA14 ,  5F031PA30 ,  5F046CC01 ,  5F046CC08 ,  5F046CC10
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (9件)
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