特許
J-GLOBAL ID:200903033002221676

複合硬質膜被覆部材

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-049530
公開番号(公開出願番号):特開2001-234328
出願日: 2000年02月25日
公開日(公表日): 2001年08月31日
要約:
【要約】【課題】従来のTi-Alを含む化合物でなる複合硬質膜の被覆部材は、複合硬質膜自体に多くの欠陥や歪みを有していることから、複合硬質膜と隣接する物質との密着性に劣ること、剥離しやすいこと、複合硬質膜自体の諸特性が劣ること、例えば切削工具として用いる場合には、複合硬質膜自体の欠陥や歪みから剥離,微小チッピング,摩耗などが急速に発達しやすくなって、短寿命になるという課題がある。【解決手段】基材の表面にチタンとアルミニウムとを含む複合窒化物、複合炭化物、複合炭窒化物、複合窒酸化物、複合炭酸化物、複合炭窒酸化物の中の少なくとも1種の複合硬質膜を含む単層または積層の被覆層として被覆されており、該複合硬質膜の表面から銅ターゲットを用いてX線回折したときに、(200)結晶面のピーク高さをh(200)とし、(111)結晶面のピーク高さをh(111)としたときに、h(200)/h(111)≧4.0からなり、該(200)結晶面のピークの半価幅をd(200)とし、該(111)結晶面のピークの半価幅をd(111)としたときに、1.5≧d(200)/d(111)≧0.8からなる複合硬質膜被覆部材。
請求項(抜粋):
基材の表面にチタンとアルミニウムとを含む複合窒化物、複合炭化物、複合炭窒化物、複合窒酸化物、複合炭酸化物、複合炭窒酸化物の中の少なくとも1種の複合硬質膜を含む単層または積層の被覆層として被覆されており、該複合硬質膜の表面から銅ターゲットを用いてX線回折したときに、(200)結晶面のピーク高さをh(200)とし、(111)結晶面のピーク高さをh(111)としたときに、h(200)/h(111)≧4.0からなり、該(200)結晶面のピークの半価幅をd(200)とし、該(111)結晶面のピークの半価幅をd(111)としたときに、1.5≧d(200)/d(111)≧0.8からなる複合硬質膜被覆部材。
IPC (3件):
C23C 14/06 ,  B23B 27/14 ,  B32B 15/04
FI (6件):
C23C 14/06 K ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/06 H ,  C23C 14/06 N ,  B23B 27/14 A ,  B32B 15/04
Fターム (43件):
3C046FF03 ,  3C046FF04 ,  3C046FF10 ,  3C046FF25 ,  3C046FF32 ,  3C046FF33 ,  3C046FF35 ,  3C046FF39 ,  3C046FF53 ,  4F100AA12B ,  4F100AA15B ,  4F100AB31A ,  4F100AT00A ,  4F100BA02 ,  4F100EH66 ,  4F100EH662 ,  4F100EJ34 ,  4F100EJ342 ,  4F100GB51 ,  4F100JK01 ,  4F100JK06 ,  4F100JK14A ,  4K029AA02 ,  4K029AA04 ,  4K029BA01 ,  4K029BA03 ,  4K029BA06 ,  4K029BA11 ,  4K029BA12 ,  4K029BA17 ,  4K029BA21 ,  4K029BA41 ,  4K029BA54 ,  4K029BA55 ,  4K029BA58 ,  4K029BA64 ,  4K029BB02 ,  4K029BB07 ,  4K029BB08 ,  4K029BD05 ,  4K029CA04 ,  4K029DD06 ,  4K029EA01
引用特許:
審査官引用 (13件)
  • 被覆硬質工具
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-312818   出願人:日立ツール株式会社, バルツェルスアクチェンゲゼルシャフト
  • 被覆硬質工具
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-312816   出願人:日立ツール株式会社, バルツェルスアクチェンゲゼルシャフト
  • 結晶配向性硬質被覆部材
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-143483   出願人:東芝タンガロイ株式会社
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