特許

J-GLOBAL ID：200903033050258646

誘電体膜構成体および前記誘電体膜構成体を用いた圧電アクチュエータならびにインクジェットヘッド

発明者： 青砥 寛 ,  伊福 俊博 ,  武田 憲一 ,  福井 哲朗
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (3件)： 宮崎 昭夫 ,  伊藤 克博 ,  石橋 政幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-031240
公開番号（公開出願番号）：特開2004-260158
出願日： 2004年02月06日
公開日（公表日）： 2004年09月16日
要約：

【課題】 優れた誘電特性、圧電特性、焦電特性、強誘電特性を有する誘電体膜構成体を実現して、アクチュエータ、メモリ、センサなどの素子の小型化、高集積化を達成するための技術、なかでも、従来の多結晶焼結体の誘電体膜の特性を凌駕し、さらに耐久性にも優れた圧電アクチュエータ、更には、この圧電アクチュエータを備え、高密度ノズル配列及び長尺化に適した構造を有するインクジェットヘッドを提供すること。【解決手段】 特定の配向特性を有する誘電体膜を基板上に設けて誘電体膜構成体とする。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

基板と、該基板上に設けられた誘電体膜と、を有する誘電体膜構成体であって、 誘電体膜が該基板に対して(001)面配向性を有し、 かつ、該誘電体膜の下記式(1):

IPC (7件)：

H01L41/09 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  H01L41/08 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22

FI (12件)：

H01L41/08 C ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101J ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/08 D ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/08 L ,  B41J3/04 103A

Fターム (18件)：

2C057AF65 ,  2C057AG44 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  5G303AA10 ,  5G303AB05 ,  5G303BA03 ,  5G303CA01 ,  5G303CB03 ,  5G303CB14 ,  5G303CB16 ,  5G303CB17 ,  5G303CB21 ,  5G303CB23 ,  5G303CB25 ,  5G303CB35 ,  5G303CB38 ,  5G303CB39

引用特許：

出願人引用 (6件)

• 特公昭53-12138号公報
  
• 特公昭62-22790号公報
  
• 米国特許4584590号公報
  
• 特公平7-33089号公報
  
• 米国特許5265315号公報
  
• 圧電体薄膜素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-137892   出願人：セイコーエプソン株式会社

審査官引用 (4件)

• 圧電体薄膜素子、その製造方法、及び圧電体薄膜素子を用いたインクジェット式記録ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-245353   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 強誘電体素子、不揮発性強誘電体メモリ素子、インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェットプリンタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-253480   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 圧電素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-048951   出願人：オムロン株式会社
• 圧電素子、インク吐出素子およびインクインクジェット式記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-384315   出願人：松下電器産業株式会社