特許
J-GLOBAL ID：200903033248527812

光学系、露光装置、デバイス製造方法

発明者：
大塚 勝

大塚 勝 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-011791
公開番号（公開出願番号）：特開2004-266264
出願日： 2004年01月20日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：
【課題】 鏡筒内に保持した複数の光学素子の相対的位置関係を最適な光学性能に維持することができる光学装置及びそれを有する投影露光装置を得ること。【解決手段】 複数の光学素子を有する光学系であって、基準ミラーと、前記複数の光学素子のうちの第1、2の光学素子及び/又は該第1、2の光学素子に対する相対的な位置が実質的に変化しないように配置された第1、2のターゲットミラーの、前記基準ミラーに対する相対的な位置を測定する第1、2の計測装置と、前記第1の計測装置と前記第2の計測装置との計測結果に基づいて、前記第1の光学素子と前記第2の光学素子との相対的な位置関係が、所定の位置関係になるように前記第1の光学素子と前記第2の光学素子との少なくとも一方を駆動する駆動機構を有することを特徴としている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
複数の光学素子を有する光学系であって、 基準ミラーと、 前記複数の光学素子のうちの第1の光学素子及び/又は該第1の光学素子に対する相対的な位置が実質的に変化しないように配置された第1のターゲットミラーの、前記基準ミラーに対する相対的な位置を測定する第1の計測装置と、 前記複数の光学素子のうちの第2の光学素子及び/又は該第2の光学素子に対する相対的な位置が実質的に変化しないように配置された第2のターゲットミラーの、前記基準ミラーに対する相対的な位置を測定する第2の計測装置と、 前記第1の計測装置と前記第2の計測装置との計測結果に基づいて、前記第1の光学素子と前記第2の光学素子との相対的な位置関係が、所定の位置関係になるように前記第1の光学素子と前記第2の光学素子との少なくとも一方を駆動する駆動機構を有することを特徴とする光学系。
IPC (3件)：
H01L21/027 ,  G02B17/00 ,  G03F7/20
FI (5件)：
H01L21/30 531A ,  G02B17/00 Z ,  G03F7/20 503 ,  H01L21/30 515D ,  H01L21/30 517
Fターム (20件)：
2H087KA21 ,  2H087TA02 ,  2H097BA06 ,  2H097CA06 ,  2H097CA15 ,  2H097LA10 ,  5F046BA05 ,  5F046CB02 ,  5F046CB03 ,  5F046CB20 ,  5F046CB23 ,  5F046CB24 ,  5F046DA12 ,  5F046DA13 ,  5F046DB05 ,  5F046DC07 ,  5F046GA03 ,  5F046GA07 ,  5F046GA14 ,  5F046GB01
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (8件)
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