特許
J-GLOBAL ID：200903033262503705

面位置検出装置、露光装置及び露光方法

発明者：
川口 透

川口 透 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 藤本 芳洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-005678
公開番号（公開出願番号）：特開2005-201675
出願日： 2004年01月13日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：
【課題】 装置の設置誤差等に影響されることなく被検面の面位置を正確に検出することができる面位置検出装置を提供する。【解決手段】 被検面Sに対して斜め方向から検出光を送光し、該被検面Sにより反射された前記検出光を受光して前記被検面Sの面位置を検出する面位置検出装置2において、前記被検面S上に2次元的に配列される複数の検出点のそれぞれにスリット状の光照射領域を形成するために、前記被検面Sへ前記検出光を送光する送光系SLと、前記被検面S上に配列される前記複数の検出点のそれぞれにて反射された前記検出光を受光する受光系RLとを備え、前記検出光は前記複数の検出点に形成される前記スリット状の光照射領域の長手方向に略直交する方向から入射する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被検面に対して斜め方向から検出光を送光し、該被検面により反射された前記検出光を受光して前記被検面の面位置を検出する面位置検出装置において、 前記被検面上に2次元的に配列される複数の検出点のそれぞれにスリット状の光照射領域を形成するために、前記被検面へ前記検出光を送光する送光系と、 前記被検面上に配列される前記複数の検出点のそれぞれにて反射された前記検出光を受光する受光系と を備え、 前記検出光は、前記複数の検出点に形成される前記スリット状の光照射領域の長手方向に略直交する方向から入射することを特徴とする面位置検出装置。
IPC (3件)：
G01B11/00 ,  G03F7/207 ,  H01L21/027
FI (3件)：
G01B11/00 B ,  G03F7/207 H ,  H01L21/30 516A
Fターム (21件)：
2F065AA06 ,  2F065BB02 ,  2F065CC20 ,  2F065FF10 ,  2F065GG03 ,  2F065HH03 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ08 ,  2F065LL02 ,  2F065LL13 ,  2F065LL22 ,  2F065LL28 ,  2F065LL46 ,  2F065PP12 ,  2F065RR07 ,  5F046BA03 ,  5F046CB24 ,  5F046DA13 ,  5F046DA14 ,  5F046DC06
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (4件)
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