特許
J-GLOBAL ID：200903033342971467
光導波路素子およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (6件)：
三好 秀和
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 川又 澄雄
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-176466
公開番号（公開出願番号）：特開2006-350014
出願日： 2005年06月16日
公開日（公表日）： 2006年12月28日
要約：
【課題】他の光素子との光結合を容易にするガイド溝を有し、製造工程が簡略化され大量生産に適する光導波路素子、および製造方法を提供する。【解決手段】基材(10)上に光導波路(20)およびこの光導波路との光結合用のガイド溝(30)を備えた光導波路素子(1)である。光導波路素子(1)は、基材(10)上の光導波路形成領域(12)に光導波路(20)を形成する感光性組成物(25)を用いて、基材(10)上のガイド溝形成領域(13)にガイド溝用のエッチングマスクとなる保護層(31)をガイド溝(30)を除いて形成した。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基材上に光導波路およびこの光導波路との光結合用のガイド溝を備えた光導波路素子であって、
基材上の光導波路形成領域に前記光導波路を形成する感光性組成物を用いて、基材上のガイド溝形成領域にガイド溝用のエッチングマスクとなる保護層を形成したことを特徴とする光導波路素子。
IPC (4件)：
G02B 6/122
, G02B 26/08
, G02B 6/13
, G02B 6/12
G02B6/12 A
, G02B26/08 E
, G02B6/12 M
, G02B6/12 N
2H041AA14
, 2H041AA15
, 2H041AB13
, 2H041AC01
, 2H041AZ08
, 2H137AA01
, 2H137AA04
, 2H137AB01
, 2H137AB08
, 2H137AB09
, 2H137AB11
, 2H137AC01
, 2H137BA01
, 2H137BA15
, 2H137BA46
, 2H137BA55
, 2H137BB02
, 2H137BB12
, 2H137BB25
, 2H137BC02
, 2H137BC32
, 2H137BC51
, 2H137CA12C
, 2H137CA13A
, 2H137CA34
, 2H137CA73
, 2H137CC03
, 2H137CC05
, 2H137CD33
, 2H137EA02
, 2H137EA04
, 2H137EA05
, 2H147AA01
, 2H147AB17
, 2H147AB32
, 2H147BE13
, 2H147CA05
, 2H147CA08
, 2H147CA13
, 2H147CB01
, 2H147CB03
, 2H147CC02
, 2H147CC13
, 2H147CC14
, 2H147CC20
, 2H147EA13C
, 2H147EA16A
, 2H147EA16B
, 2H147FB01
, 2H147FC02
, 2H147FC07
, 2H147FE02
出願人引用 (1件)
審査官引用 (7件)
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