特許
J-GLOBAL ID：200903033354734533
圧電アクチュエータ、インクジェット式ヘッド及び吐出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 藤綱 英吉
, 須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-076244
公開番号（公開出願番号）：特開2004-006722
出願日： 2003年03月19日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：
【課題】圧電体として、Pbを含まないチタン酸バリウムを用いた圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】(a)Si基板上に(b)エピタキシャル形成された酸化物または窒化物からなるバッファ層と、(c)前記バッファ層上に形成された、遷移金属酸化物からなりペロブスカイト構造を有する擬立方晶(100)若しくは(111)配向を備えた下部電極と、(d)前記下部電極上に形成された、擬立方晶(001)または(111)配向の(Ba1-xMx)(Ti1-yZy)O3(M=Sr,Ca、0≦x≦0.3)(Z=Zr,Hf、0≦y≦0.2)からなる圧電体層と、(e) 前記圧電体層上に形成された上部電極と、を備えた圧電アクチュエータ。下部電極は金属でもよい。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
(100)若しくは(110)配向であるSi基板上にエピタキシャル形成された酸化物からなるバッファ層と、
前記バッファ層上に形成された、遷移金属酸化物からなりペロブスカイト構造を有する擬立方晶(100)配向を備えた下部電極と、
前記下部電極上に形成された、擬立方晶(001)配向の(Ba1-xMx)(Ti1-yZy)O3(ここで、(M=Sr又はCa、0≦x≦0.3)、(Z=Zr又はHf、0≦y≦0.2))からなる圧電体層と、
前記圧電体層上に形成された上部電極と、を備えた圧電アクチュエータ。
IPC (7件)：
H01L41/08
, B41J2/045
, B41J2/055
, B41J2/16
, H01L41/09
, H01L41/18
, H01L41/187
H01L41/08 D
, B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
, H01L41/08 L
, H01L41/08 J
, H01L41/18 101J
, H01L41/18 101Z
2C057AF93
, 2C057AF99
, 2C057AG12
, 2C057AG42
, 2C057AG44
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP25
, 2C057AP31
, 2C057AP32
, 2C057AP51
, 2C057AP52
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA14
