特許

J-GLOBAL ID：200903033697641085

研磨材の回収装置

発明者： 松本 章 ,  林 一樹
出願人/特許権者： 栗田工業株式会社
代理人 (1件)： 内山 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-194672
公開番号（公開出願番号）：特開2002-011664
出願日： 2000年06月28日
公開日（公表日）： 2002年01月15日
要約：

【要約】【課題】半導体製造工場などで使用されるCMP工程から排出される研磨材を含有する研磨工程排水から、研磨材粒子を効率的に回収して再利用するための研磨材の回収装置を提供する。【解決手段】CMP工程排液から研磨材を回収する装置において、CMPマシンの研磨部で飛散する排スラリーを回収する回収手段、該回収手段からの排スラリーが導入される膜分離手段及び該膜分離手段で得られた濃縮水を水洗する洗浄手段とを備えてなることを特徴とする研磨材の回収装置。

請求項（抜粋）：

CMP工程排液から研磨材を回収する装置において、CMPマシンの研磨部で飛散する排スラリーを回収する回収手段、該回収手段からの排スラリーが導入される膜分離手段及び該膜分離手段で得られた濃縮水を水洗する洗浄手段とを備えてなることを特徴とする研磨材の回収装置。

IPC (6件)：

B24B 57/02 ,  B01D 61/14 500 ,  B24B 37/00 ,  C02F 1/00 ,  C02F 1/44 ,  H01L 21/304 622

FI (6件)：

B24B 57/02 ,  B01D 61/14 500 ,  B24B 37/00 K ,  C02F 1/00 L ,  C02F 1/44 E ,  H01L 21/304 622 E

Fターム (31件)：

3C047GG14 ,  3C047GG17 ,  3C058AA07 ,  3C058AC04 ,  3C058CA01 ,  3C058CB03 ,  3C058CB06 ,  3C058DA12 ,  4D006GA06 ,  4D006GA07 ,  4D006JA56A ,  4D006KA02 ,  4D006KA63 ,  4D006KA72 ,  4D006KB14 ,  4D006KD04 ,  4D006KD14 ,  4D006KD17 ,  4D006KE07Q ,  4D006KE07R ,  4D006MA22 ,  4D006MB02 ,  4D006MC03 ,  4D006MC03X ,  4D006NA39 ,  4D006NA54 ,  4D006PA04 ,  4D006PB08 ,  4D006PB15 ,  4D006PB70 ,  4D006PC01

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 研磨剤スラリ回収装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-282335   出願人：栗田工業株式会社
• 化学機械研磨用スラリーの再生装置及び再生方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-244124   出願人：日本電気株式会社
• ワイヤソー砥粒スラリーの再生方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-345000   出願人：石川島汎用機サービス株式会社
• 研磨剤粒子の回収方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-249851   出願人：栗田工業株式会社, 日本電気株式会社
• ダイアモンド砥粒の回収方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-171812   出願人：三菱化学株式会社

審査官引用 (5件)

• 研磨剤スラリ回収装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-282335   出願人：栗田工業株式会社
• ワイヤソー砥粒スラリーの再生方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-345000   出願人：石川島汎用機サービス株式会社
• ダイアモンド砥粒の回収方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-171812   出願人：三菱化学株式会社
• 化学機械研磨用スラリーの再生装置及び再生方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-244124   出願人：日本電気株式会社
• 研磨剤粒子の回収方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-249851   出願人：栗田工業株式会社, 日本電気株式会社