電子部品の洗浄方法及び装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：森浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-099554
公開番号（公開出願番号）：特開2003-290729
出願日： 2002年04月02日
公開日（公表日）： 2003年10月14日
要約：

【要約】【課題】従来より高い効率でフッ化物イオンを含む電解液を電解して洗浄効率の優れた洗浄水を生成し、この洗浄水を使用して電子部品を洗浄する方法及び装置を提供する。【解決手段】フッ化物イオンを含む水溶液を導電性ダイヤモンドを有する電極4aを用いて電解して得られる含フッ素成分を含有する洗浄水を使用して電子部品を洗浄する方法。フッ化物イオンを導電性ダイヤモンド電極を使用して電解生成される含フッ素成分は、電解前のフッ化物イオン自体やフッ化物イオンを他の電極を使用して電解することにより得られる含フッ素成分よりも強力な洗浄効果を有し、フッ酸の使用量を大幅に節減できる。

請求項（抜粋）：

フッ化物イオンを含む水溶液を導電性ダイヤモンドを有する電極を用いて電解して得られる含フッ素成分を含有する洗浄水を使用して電子部品を洗浄することを特徴とする電子部品の洗浄方法。

IPC (8件)：

B08B 3/08 , B01D 19/00 , C02F 1/20 , C02F 1/46 , C11D 7/28 , C11D 7/34 , C23G 1/02 , H01L 21/304 647

FI (8件)：

B08B 3/08 Z , B01D 19/00 B , C02F 1/20 A , C02F 1/46 Z , C11D 7/28 , C11D 7/34 , C23G 1/02 , H01L 21/304 647 Z

Fターム (31件)：

3B201AA01 , 3B201AA46 , 3B201BB01 , 3B201BB22 , 3B201BB95 , 4D011AA01 , 4D011AD03 , 4D037AA01 , 4D037BA23 , 4D037CA04 , 4D061DA01 , 4D061DB09 , 4D061EA02 , 4D061EB01 , 4D061EB04 , 4D061EB13 , 4D061EB19 , 4D061EB31 , 4D061FA03 , 4H003DA15 , 4H003EA03 , 4H003EA05 , 4H003FA04 , 4H003FA15 , 4K053PA06 , 4K053QA04 , 4K053RA15 , 4K053RA17 , 4K053SA04 , 4K053SA06 , 4K053TA18

引用特許：

審査官引用 (5件)

洗浄組成物及びそれを用いた半導体基板の洗浄方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-069856 出願人：三菱化学株式会社
電解用電極及び該電極を使用する電解槽
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-106379 出願人：ペルメレック電極株式会社
超純水の製造方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-265808 出願人：オルガノ株式会社

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