オニウム塩化合物、感放射線性酸発生剤およびポジ型感放射線性樹脂組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福沢俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-182089
公開番号（公開出願番号）：特開2004-250427
出願日： 2003年06月26日
公開日（公表日）： 2004年09月09日
要約：

【課題】保存安定性に優れ、高感度で高解像度の化学増幅型フォトレジストとして有用な感放射線性樹脂組成物に使用される感放射線性酸発生剤として好適なオニウム塩化合物、該オニウム塩化合物からなる感放射線性酸発生剤、および該感放射線性酸発生剤を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】オニウム塩化合物は、カチオン部分が一般式(1)で表される。【化1】〔式中、AはIまたはS、mは1以上の整数、nは0以上の整数、、xは1〜15の整数、Ar1 およびAr2 は1価の(置換)芳香族炭化水素基等示し、OZはスルホン酸(エステル)の残基またはスルフィン酸(エステル)の残基を示す。〕ポジ型感放射線性樹脂組成物は、(A)該オニウム塩化合物からなる感放射線性酸発生剤および(B)酸解離性基含有樹脂を含有する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

カチオン部分が下記一般式(1)で表されるオニウム塩化合物。

IPC (5件)：

C07C381/12 , C08F2/50 , G03F7/004 , G03F7/039 , H01L21/027

FI (6件)：

C07C381/12 , C08F2/50 , G03F7/004 501 , G03F7/004 503A , G03F7/039 601 , H01L21/30 502R

Fターム (21件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA11 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CC20 , 4H006AA01 , 4H006AA03 , 4H006AB76 , 4H006AB81 , 4J011SA87 , 4J011UA01 , 4J011UA02 , 4J011UA03 , 4J011UA04 , 4J011WA01

引用特許：

審査官引用 (7件)

熱現像感光材料とその製造方法及び画像形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-325002 出願人：コニカ株式会社
ハロゲン化銀写真感光材料
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-031553 出願人：三菱製紙株式会社
ゼラチンの硬化方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-225110 出願人：三菱製紙株式会社

全件表示

前のページに戻る