特許
J-GLOBAL ID：200903034396200390
微細ボールの配列装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-226212
公開番号（公開出願番号）：特開平11-054517
出願日： 1997年08月22日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 配列基板上に微細ボールを再吸着させる際に、配列基板の中央部に微細ボールが団子状に吸着されてしまう不都合を防止するとともに、吸着不良が生じたときに行う再吸着処理に要する時間を短縮できるようにする。【解決手段】 配列基板1に形成されている複数のボール吸着孔3a〜3dを複数のエリア11〜14に分割するとともに、各エリア11〜14に対応させて複数の減圧/加圧系統2a〜2dを設け、前記複数のエリア11〜14のボール吸着孔3a〜3dに対する減圧/加圧を個々独立的に行うことができるようにして、ボールの吸着不良が発生するのを可及的に防止するとともに、ボール吸着に関する不具合が発生した減圧/加圧系統2a〜2dのみについて、微細ボール4の再吸着処理を行うことができるようにする。
請求項（抜粋）：
微細ボールの吸着面にボール吸着孔が複数個形成されている配列基板と、前記配列基板を保持している微細ボール配列ヘッドの内部に形成されている真空室を減圧/加圧して、前記ボール吸着孔のそれぞれに微細ボールを吸着/離脱させるようにする減圧/加圧系統とを備え、前記配列基板上に複数の微細ボールを一括保持して、プリント基板及び半導体チップを少なくとも含む電子部品の電極上に一括配列させるようにする微細ボールの配列装置において、前記配列ヘッドの内部に形成されている真空室を複数のエリアに区画するとともに、前記減圧/加圧系統を前記複数のエリア毎に設け、前記各エリアにおける減圧タイミング及び減圧の大きさを、前記各エリア毎に制御可能としたことを特徴とする微細ボールの配列装置。
IPC (4件)：
H01L 21/321
, B23P 21/00 305
, B25J 15/06
, H01L 21/60 311
H01L 21/92 604 H
, B23P 21/00 305 B
, B25J 15/06 K
, B25J 15/06 N
, H01L 21/60 311 Q
, H01L 21/92 604 Z
