特許
J-GLOBAL ID：200903034725059423

新規化合物、重合体および感放射線性樹脂組成物

発明者：
米田 英司

米田 英司 について

, 
千葉 隆

千葉 隆 について

, 
川上 峰規

川上 峰規 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (1件)： 和気 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-247676
公開番号（公開出願番号）：特開2006-063016
出願日： 2004年08月27日
公開日（公表日）： 2006年03月09日
要約：
【課題】放射線に対する透明性が高く、しかも感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れ、解像性能が高く、パターンのラインエッジラフネスが小さい感放射線性樹脂組成物、その組成物に利用できる重合体およびこの重合体合成に用いられる新規化合物を提供する。【解決手段】アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性であって酸の作用によりアルカリ易溶性となる酸解離性基含有樹脂と、感放射線性酸発生剤とを含有する感放射線性樹脂組成物であって、上記酸解離性基含有樹脂が式(2)で表される基を分子末端に含み、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)で測定したポリスチレン換算重量平均分子量が2,000〜100,000である【化1】【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
下記式(1)で表される新規化合物。
IPC (5件)：
C07C 323/12 ,  C07C 323/17 ,  C08F 2/38 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
C07C323/12 ,  C07C323/17 ,  C08F2/38 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R
Fターム (24件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CB55 ,  2H025CB56 ,  4H006AA01 ,  4H006AA03 ,  4H006AB80 ,  4J011AA05 ,  4J011AA07 ,  4J011HB01 ,  4J011NA25 ,  4J011NB04
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (8件)
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引用文献：
審査官引用 (4件)
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