特許
J-GLOBAL ID：200903034817756570

計測システム

発明者：
三 井 正

三 井 正 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (5件)： 吉武 賢次 ,  橘谷 英俊 ,  佐藤 泰和 ,  吉元 弘 ,  川崎 康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-135757
公開番号（公開出願番号）：特開2005-317848
出願日： 2004年04月30日
公開日（公表日）： 2005年11月10日
要約：
【課題】 複数の計測装置間に跨るレシピの作成を可能にすると共に、計測結果としての画像データや数値データの一括処理を可能にする。【解決手段】 計測装置4,5と、クライアントコンピュータ6,7と、サーバコンピュータ10とにより構成される計測システムである。サーバコンピュータ10は、計測装置4,5のレシピの設定内容を前記クライアントコンピュータから作成・編集する設定編集処理部12と、クライアントコンピュータ6,7で作成・編集されたレシピに含まれる少なくとも1つの実行要求を計測装置または上位ホストコンピュータに通知する通知処理部13と、実行要求が通知されたレシピにより計測装置4,5により取得されたデータをクライアントコンピュータ6,7から入力された設定情報に基づいてデータ処理するデータ処理部15と、データ処理部16の処理結果をクライアントコンピュータに表示する結果表示処理部17と、を備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
コンピュータネットワークに接続された少なくとも1つの計測装置と、クライアントコンピュータと、サーバコンピュータとにより構成される計測システムであって、 前記サーバコンピュータは、前記計測装置のレシピの設定内容を前記クライアントコンピュータから作成・編集する設定編集処理部と、前記クライアントコンピュータで作成・編集された前記レシピに含まれる少なくとも1つの実行要求を前記計測装置または上位ホストコンピュータに通知する通知処理部と、前記実行要求が通知された前記レシピにより前記計測装置により取得されたデータを前記クライアントコンピュータから入力された設定情報に基づいてデータ処理するデータ処理部と、前記データ処理部の処理結果を前記クライアントコンピュータに表示する結果表示処理部と、を備えることを特徴とする計測システム。
IPC (4件)：
H01L21/02 ,  G01B15/00 ,  G01N23/225 ,  H01L21/66
FI (5件)：
H01L21/02 Z ,  G01B15/00 B ,  G01N23/225 ,  H01L21/66 J ,  H01L21/66 Z
Fターム (19件)：
2F067AA15 ,  2F067AA27 ,  2F067BB04 ,  2F067CC17 ,  2F067EE05 ,  2F067RR35 ,  2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001GA05 ,  2G001GA06 ,  2G001HA13 ,  2G001JA13 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  4M106CA39 ,  4M106DB30 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ23
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (5件)
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