特許
J-GLOBAL ID：200903034900478876
ウェーハ及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
日向寺 雅彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-272282
公開番号（公開出願番号）：特開2009-096698
出願日： 2007年10月19日
公開日（公表日）： 2009年05月07日
要約：
【課題】フランジ領域を確保しつつ、無効領域が低減されたウェーハ及びその製造方法を提供する。【解決手段】円周の一部を切り込んだオリエンテーションノッチ10bを有するウェーハ10であって、周縁に立設された補強フランジ10aと、補強フランジ10aに取り囲まれ補強フランジ10aよりも層厚の薄い薄層部10cと、を備え、補強フランジ10aは、円周に沿って立設された円周部と、オリエンテーションノッチ10bの近傍に立設されたノッチ部と、を有し、ウェーハ10の主面に対して平行な方向にみた円周部の幅W1は、主面に対して平行な方向にみたオリエンテーションノッチ10bの深さNよりも小さい。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
円周の一部を切り込んだオリエンテーションノッチを有するウェーハであって、
周縁に立設された補強フランジと、
前記補強フランジに取り囲まれ前記補強フランジよりも層厚の薄い薄層部と、
を備え、
前記補強フランジは、前記円周に沿って立設された円周部と、前記オリエンテーションノッチの近傍に立設されたノッチ部と、を有し、
前記ウェーハの主面に対して平行な方向にみた前記円周部の幅は、前記主面に対して平行な方向にみた前記オリエンテーションノッチの深さよりも小さいことを特徴とするウェーハ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077FG16
, 4G077FG17
, 4G077FG18
, 4G077HA12
出願人引用 (1件)
審査官引用 (7件)
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