特許
J-GLOBAL ID：200903035343224463

試料検査装置、試料検査方法及びプログラム

発明者：
岡本 和也

岡本 和也 について

, 
榎本 智

榎本 智 について


出願人/特許権者：
アドバンスド・マスク・インスペクション・テクノロジー株式会社

アドバンスド・マスク・インスペクション・テクノロジー株式会社 について


代理人 (3件)： 松山 允之 ,  河西 祐一 ,  池上 徹真
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-091971
公開番号（公開出願番号）：特開2006-275611
出願日： 2005年03月28日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：
【目的】 装置を構成する各要素が起因となる物理的な誤差を補正し、検査画像と参照画像とをより高精度に一致させることを目的とする。【構成】 X方向に1画素ずつ移動しながら所定の画素幅で被検査試料の光学画像を取得する画像データ取得部150と、取得された光学画像に対し、前記所定の方向に1画素ずつ移動しながら前記所定の画素幅以内の所定の画素幅で切り出す画素列を補正する補正回路140と、補正された画素列を順に並べて所定の領域の画像として切り出すエリア切出し回路215と、前記所定の領域の画像と参照画像とを比較する比較判定処理回路218と、を備えたことを特徴とする。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
被検査試料を載置して所定の方向に移動するステージを有し、所定の方向に1画素ずつ移動しながら所定の画素幅で被検査試料の光学画像を取得する光学画像取得部と、 取得された光学画像に対し、前記ステージの移動位置の誤差を画素数に換算して、誤差分の整数画素数だけ切り出す画素列の位置を補正する補正部と、 補正された画素列を順に並べて所定の領域の画像として切り出す切り出し部と、 前記所定の領域の画像と参照画像とを比較する比較部と、 を備えたことを特徴とする試料検査装置。
IPC (5件)：
G01B 11/30 ,  G01N 21/956 ,  G03F 1/08 ,  G06T 1/00 ,  G06T 3/00
FI (5件)：
G01B11/30 A ,  G01N21/956 A ,  G03F1/08 S ,  G06T1/00 305A ,  G06T3/00 200
Fターム (35件)：
2F065AA56 ,  2F065BB02 ,  2F065CC18 ,  2F065EE08 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ25 ,  2F065MM02 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065RR03 ,  2F065UU05 ,  2F065UU06 ,  2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051BA10 ,  2G051CA03 ,  2G051DA05 ,  2G051EA23 ,  2G051ED11 ,  2H095BD02 ,  2H095BD20 ,  2H095BD28 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CD12 ,  5B057CE11 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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