特許
J-GLOBAL ID:200903035357106056

青紫色レーザー感光性組成物、並びにそれを用いた画像形成材料、感光性画像形成材及び画像形成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 重野 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-218915
公開番号(公開出願番号):特開2005-208561
出願日: 2004年07月27日
公開日(公表日): 2005年08月04日
要約:
【課題】青紫色レーザーによる直接描画に用いるに好適な基板加工のレジストとして感光材の膜厚を厚くして用いた場合にも高感度な青紫色レーザー感光性組成物を提供する。【解決手段】下記一般式(I)〜(III)で表される増感剤のうちの1種又は2種以上を含有する。【選択図】なし
請求項(抜粋):
下記一般式(I)〜(III)で表される増感剤のうちの1種又は2種以上を含有することを特徴とする青紫色レーザー感光性組成物。
IPC (4件):
G03F7/004 ,  C08F2/50 ,  G03F7/029 ,  H01L21/027
FI (5件):
G03F7/004 503Z ,  G03F7/004 512 ,  C08F2/50 ,  G03F7/029 ,  H01L21/30 502R
Fターム (37件):
2H025AA01 ,  2H025AB11 ,  2H025AB13 ,  2H025AB14 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB20 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025CA14 ,  2H025CA28 ,  2H025CA39 ,  2H025CA48 ,  2H025CC13 ,  2H025CC20 ,  2H025FA10 ,  4J011QA02 ,  4J011QA03 ,  4J011QA05 ,  4J011QA06 ,  4J011QA13 ,  4J011QA14 ,  4J011QA15 ,  4J011QA22 ,  4J011QA23 ,  4J011QA33 ,  4J011QA42 ,  4J011SA74 ,  4J011SA78 ,  4J011SA85 ,  4J011SA87 ,  4J011SA88 ,  4J011UA02 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (9件)
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