特許
J-GLOBAL ID:200903035415523738

電子放出素子及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山本 秀策
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-005868
公開番号(公開出願番号):特開2000-208028
出願日: 1999年01月12日
公開日(公表日): 2000年07月28日
要約:
【要約】【課題】 カーボンナノチューブなどの針状の冷陰極部材を十分な生産性で2次元アレイ状に配設して、電界放出型電子エミッタとして機能させることができる構成を有する電子放出素子、及びそのような電子放出素子の生産性に優れた製造方法を提供する。【解決手段】 電子放出素子が、支持部材と、該支持部材の上に形成された電極と、該支持部材の表面及び該電極を覆うように形成された保持部材と、該保持部材に保持されている複数の針状構造の冷陰極部材と、を備えており、該冷陰極部材の各々は、その一端が該保持部材に挿入されており、他の一端は、該保持部材の外部に突出している。
請求項(抜粋):
支持部材と、該支持部材の上に形成された電極と、該支持部材の表面及び該電極を覆うように形成された保持部材と、該保持部材に保持されている複数の針状構造の冷陰極部材と、を備えており、該冷陰極部材の各々は、その一端が該保持部材に挿入されており、他の一端は、該保持部材の外部に突出している、電子放出素子。
IPC (4件):
H01J 1/304 ,  H01J 9/02 ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12
FI (4件):
H01J 1/30 F ,  H01J 9/02 B ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12 C
Fターム (11件):
5C031DD09 ,  5C031DD17 ,  5C031DD19 ,  5C036EE01 ,  5C036EE14 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EF09 ,  5C036EG12 ,  5C036EH08 ,  5C036EH11
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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