特許
J-GLOBAL ID：200903035702972578
ノズルプレート、ノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
日向寺 雅彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-350146
公開番号（公開出願番号）：特開2008-155591
出願日： 2006年12月26日
公開日（公表日）： 2008年07月10日
要約：
【課題】機械的な強度が確保され、着弾特性や飛翔特性などの動作特性に優れたノズルプレート、ノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。【解決手段】第1のシリコン層と、ガラス層と、前記ガラス層と接合された第2のシリコン層と、前記第1のシリコン層と前記第2のシリコン層との間に設けられた酸化シリコン層と、を備え、前記第1のシリコン層を貫通し液滴を吐出するノズル孔と、前記酸化シリコン層及び前記第2のシリコン層を貫通し前記ノズル孔に連通した流路と、前記ガラス層に形成され前記流路に連通した液室と、が形成されてなることを特徴とするノズルプレートが提供される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
第1のシリコン層と、
ガラス層と、
前記ガラス層と接合された第2のシリコン層と、
前記第1のシリコン層と前記第2のシリコン層との間に設けられた酸化シリコン層と、
を備え、
前記第1のシリコン層を貫通し液滴を吐出するノズル孔と、
前記酸化シリコン層及び前記第2のシリコン層を貫通し前記ノズル孔に連通した流路と、
前記ガラス層に形成され前記流路に連通した液室と、
が形成されてなることを特徴とするノズルプレート。
IPC (3件)：
B41J 2/135
, B41J 2/045
, B41J 2/055
B41J3/04 103N
, B41J3/04 103A
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG01
, 2C057AP13
, 2C057AP28
, 2C057AP32
, 2C057AP33
, 2C057BA04
, 2C057BA14
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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