特許
J-GLOBAL ID：200903035746140219
冷陰極表示装置の製造方法および冷陰極表示装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
吉田 茂明
, 吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-042141
公開番号（公開出願番号）：特開2004-253236
出願日： 2003年02月20日
公開日（公表日）： 2004年09月09日
要約：
【課題】カソード電極と引出し電極とので発生するショートを防止することができる冷陰極表示装置の製造方法および冷陰極表示装置を提供することを目的とする。【解決手段】基板1上にカソード電極2を形成し、底部で当該カソード電極2が露出する孔部5を有する、透明絶縁層3および引出し電極4とを基板1を覆うように積層する。次に、孔部5を充填し、引出し電極4を覆うように犠牲層14を形成し、孔部5に充填されている犠牲層14に対して、微細孔16を形成する。さらに、微細孔に対して、電子放出材料を充填した後に、犠牲層14のリフトオフ処理により、犠牲層14上に形成された電子放出材料を除去する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
(a)カソード電極を有する基板を用意する工程と、
(b)前記カソード電極に達する第一の孔を有する、前記基板上に積層された絶縁層および引出し電極を形成する工程と、
(c)前記第一の孔を充填し、前記引出し電極を覆うように犠牲層を形成する工程と、
(d)前記第一の孔に充填されている前記犠牲層に対して、前記第一の孔よりも径の小さい第二の孔を形成する工程と、
(e)前記第二の孔に対して、電子放出材料を形成する工程と、
(f)前記工程(e)の後に、前記犠牲層を除去することにより、当該犠牲層上に形成された前記電子放出材料を除去する工程とを、
備えることを特徴とする冷陰極表示装置の製造方法。
IPC (3件)：
H01J9/02
, H01J29/04
, H01J31/12
H01J9/02 B
, H01J29/04
, H01J31/12 C
5C031DD17
, 5C031DD19
, 5C036EE14
, 5C036EF01
, 5C036EF06
, 5C036EF09
, 5C036EG12
, 5C036EH06
, 5C036EH08
, 5C036EH26
, 5C127CC02
, 5C127DD40
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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