酸化亜鉛膜の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-036919
公開番号（公開出願番号）：特開2005-226131
出願日： 2004年02月13日
公開日（公表日）： 2005年08月25日
要約：

【課題】所定の電子密度を得ることができる酸化亜鉛膜の製造方法を提供する。【解決手段】成膜室でイオンプレーティング法により酸化亜鉛膜を形成する。このとき、予め把握した酸化亜鉛の電子密度と成膜室の酸素分圧の関係に基づいて、酸素分圧を調整して電子密度を制御する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

成膜室で酸化亜鉛膜を形成する酸化亜鉛膜の製造方法において、予め把握した酸化亜鉛の電子密度と成膜室の酸素分圧の関係に基づいて、酸素分圧を調整して電子密度を制御することを特徴とする酸化亜鉛膜の製造方法。

IPC (2件)：

C23C14/08 , C23C14/32

FI (2件)：

C23C14/08 C , C23C14/32 Z

Fターム (6件)：

4K029AA09 , 4K029BA49 , 4K029BC09 , 4K029CA01 , 4K029CA03 , 4K029CA05

引用特許：

出願人引用 (1件)

審査官引用 (2件)

引用文献：

審査官引用 (3件)

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