特許
J-GLOBAL ID：200903036137550601

圧電振動片、圧電デバイス及び圧電振動片の製造方法

発明者：
安池 亮一

安池 亮一 について


出願人/特許権者：
エプソントヨコム株式会社

エプソントヨコム株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-266022
公開番号（公開出願番号）：特開2009-246940
出願日： 2008年10月15日
公開日（公表日）： 2009年10月22日
要約：
【課題】外形サイズを小型化できる圧電振動片の提供。【解決手段】枠部2と振動部3とを有し、枠部2は、外周に一方の主面2aと他方の主面2bとを繋ぐ側壁部2cを有し、側壁部2cが、一方の主面2aから他方の主面2b側に傾斜し、他方の主面2b側の端2fが、平面視で一方の主面2aの輪郭2iの外側に形成された第1の斜面2dと、他方の主面2bから一方の主面2a側に傾斜し、一方の主面2a側の端2gが、平面視で他方の主面2bの輪郭2jの外側に形成された第2の斜面2eと、を有し、側壁部2cの少なくとも一部において、第1の斜面2dの他方の主面2a側の端2fと、第2の斜面2eの一方の主面2a側の端2gとが当接し、一方の主面2aに略直交する第一の方向における、一方の主面2aから第1の斜面2dの他方の主面2b側の端2fまでの距離L1が、一方の主面2aから振動部3の一方の主面2a側の振動面3aまでの距離L2より短い。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
肉厚部と、少なくとも一方の主面に段差を設けることにより、前記肉厚部に連接し前記肉厚部より薄く形成された振動部とを有し、前記肉厚部と前記振動部とがエッチングにより形成された圧電振動片であって、 前記肉厚部は、外周の少なくとも一部に、前記一方の主面、及び前記一方の主面に対向する他方の主面を繋ぐ側壁部を有し、 前記側壁部が、前記一方の主面から前記他方の主面側に傾斜し、前記他方の主面側の端が、平面視で前記一方の主面の輪郭の外側に形成された第1の斜面と、 前記他方の主面から前記一方の主面側に傾斜し、前記一方の主面側の端が、平面視で前記他方の主面の輪郭の外側に形成された第2の斜面と、を有し、 前記側壁部の少なくとも一部において、前記第1の斜面の前記他方の主面側の端と、前記第2の斜面の前記一方の主面側の端とが当接し、 前記一方の主面に略直交する第一の方向における、前記一方の主面から前記第1の斜面の前記他方の主面側の端までの距離が、前記第一の方向における、前記一方の主面から前記振動部の前記一方の主面側の振動面までの距離より短いことを特徴とする圧電振動片。
IPC (6件)：
H03H 9/19 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/10 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18
FI (7件)：
H03H9/19 A ,  H03H3/02 C ,  H03H9/10 ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101A
Fターム (13件)：
5J108CC04 ,  5J108CC09 ,  5J108CC11 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE18 ,  5J108GG03 ,  5J108GG11 ,  5J108GG15 ,  5J108GG16 ,  5J108GG20 ,  5J108GG21
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (9件)
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