ヘテロダインビートプローブ走査プローブ顕微鏡およびこれによってトンネル電流に重畳された微小信号の計測方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-000007
公開番号（公開出願番号）：特開2007-183106
出願日： 2006年01月04日
公開日（公表日）： 2007年07月19日
要約：

【課題】微小なRF信号検出を容易かつ確実に行うことのできるヘテロダインビートプローブ走査プローブ顕微鏡、更にはこの走査プローブ顕微鏡によるへテロダインビート信号の特定方法を提供する。【解決手段】既知の外部重畳参照高周波(RF)信号もしくは外部重畳参照電磁波信号および未知の高周波信号もしくは電磁波信号を走査プローブ顕微鏡(SPM)にセットされた試料と該試料に対向する探針との間に付与し、外部重畳参照高周波信号もしくは外部重畳参照電磁波信号を未知の高周波信号もしくは電磁波信号に干渉させてヘテロダインビート信号を発生させる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

既知の外部重畳参照高周波(RF)信号もしくは外部重畳参照電磁波信号および未知の高周波信号もしくは電磁波信号を走査プローブ顕微鏡(SPM)にセットされた試料と該試料に対向する探針に付与し、外部重畳参照高周波信号もしくは外部重畳参照電磁波信号を未知の高周波信号もしくは電磁波信号に干渉させてヘテロダインビート信号を発生させることを特徴とするヘテロダインビートプローブ走査プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 13/12 , G01B 7/00 , G01N 13/10

FI (3件)：

G01N13/12 A , G01B7/00 101Z , G01N13/10 F

Fターム (5件)：

2F063AA02 , 2F063DA01 , 2F063DA05 , 2F063EA16 , 2F063FA07

引用特許：

出願人引用 (6件)

核磁気共鳴を利用した複合分光方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-395167 出願人：株式会社日立製作所
ヘテロダインビート画像同期測定方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-007502 出願人：科学技術振興事業団
周波数安定化回路
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-325417 出願人：日本電気株式会社

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審査官引用 (3件)

白色光のヘテロダイン干渉法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-080087 出願人：工業技術院長
光検出方法及び生体光計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-347102 出願人：株式会社日立メディコ
メガネの装飾部品及び装飾部品の取付け構造
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-381337 出願人：株式会社エクセル眼鏡

引用文献：

出願人引用 (4件)

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審査官引用 (4件)

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