特許
J-GLOBAL ID：200903036277441357

プラズマ質量分析計

発明者：
カリニチェンコ,イオウリ

カリニチェンコ,イオウリ について


出願人/特許権者：
ヴァリアン オーストラリア ピーティーワイ.エルティーディー.

ヴァリアン オーストラリア ピーティーワイ.エルティーディー. について


代理人 (2件)： 稲岡 耕作 ,  川崎 実夫
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-575404
公開番号（公開出願番号）：特表2005-519450
出願日： 2003年02月27日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：
【課題】スキマーコーンオリフィスと抽出電極との間の領域からの気体の除去を制限するイオンビーム抽出電極を提供する。 【解決手段】スキマーコーンのオリフィス42のすぐ背後の領域60からの気体の排気を制限するためにスキマーコーン40に関連付けられたイオンビーム抽出電極45を有して、電極45の下流側の圧力(例えば、10-3Torr〜10-4Torr)と比較し、より大きい圧力(例えば、1Torr〜10-2Torr)が領域60において提供されるプラズマ源質量分析計20。これにより、イオンビーム49の抽出に先立って、プラズマ28に対する衝突気体体積部60が、多原子状および多荷電の妨害イオンを弱めるために提供される。1つの実施形態において、反応相互作用または衝突相互作用によって多原子状および多荷電の妨害イオンを弱めることを助けるために、物質(例えば、水素)を領域60内に供給することができる。
請求項（抜粋）：
分析物イオンを供給するためのプラズマイオン源と、 真空チャンバー、ならびに、分析物イオンを含有するプラズマを前記真空チャンバー内に入れるための、前記プラズマイオン源と前記真空チャンバーとの間におけるサンプリングインターフェース構成およびスキマーインターフェース構成と、 別の真空チャンバーに収容された質量分析器およびイオン検出器に送るために、分析物イオンを含有するイオンビームを、入ってきたプラズマから抽出するための前記真空チャンバー内の電極手段とを含む質量分析計であって、 前記電極手段が少なくとも1つの電極を含み、前記少なくとも1つの電極が、前記スキマーと前記少なくとも1つの電極との間の前記真空チャンバーの一部の領域が、前記真空チャンバー内の他の領域の圧力よりも相対的に大きい圧力を有し、それにより、多原子のおよび多荷電の妨害イオンを減衰させるための衝突気体体積部を提供するように前記スキマーとともに構成され、かつ関連付けられている、質量分析計。
IPC (2件)：
H01J49/10 ,  G01N27/62
FI (2件)：
H01J49/10 ,  G01N27/62 B
Fターム (4件)：
5C038GG09 ,  5C038GH08 ,  5C038GH11 ,  5C038GH13
引用特許：
出願人引用 (4件)
  • 米国特許第5,767,512号明細書
  • 米国特許第6,265,717号明細書
  • 米国特許第6,222,185号明細書
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審査官引用 (9件)
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