特許
J-GLOBAL ID：200903052238949578
誘導結合プラズマ質量分析計及び分析方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 馨 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-201451
公開番号（公開出願番号）：特開2000-067804
出願日： 1999年07月15日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：
【要約】【課題】 干渉性化学種の形成を著しく少なくすることによって、被分析物の検出限界が改善される誘導結合プラズマ質量分析計を提供する。【解決手段】 本発明の誘導結合プラズマ質量分析計は、第1の実質的に大気圧のプラズマを発生するための手段と、試料をプラズマ中に導入してイオン化することにより被分析物のイオンを形成するため手段と、該被分析物のイオンをプラズマから第2の圧力に保たれたチャンバ(すなわちインタフェース段)へ移送するための手段と、該被分析物のイオンを該インタフェース段から第3の圧力で動作して分離及び測定を行うための質量アナライザチャンバ(アナライザ段)へ移送するための手段とを具備することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
誘導結合プラズマ質量分析計であって、第1の実質的に大気圧のプラズマを発生するための手段と、試料をプラズマ中に導入してイオン化することにより被分析物のイオンを形成するため手段と、該被分析物のイオンをプラズマから第2の圧力に保たれたチャンバ(すなわちインタフェース段)へ移送するための手段と、該被分析物のイオンを該インタフェース段から第3の圧力で動作して分離及び測定を行うための質量アナライザチャンバ(すなわちアナライザ段)へ移送するための手段とを具備したことを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析計。
IPC (3件)：
H01J 49/04
, G01N 27/62
, H01J 49/26
H01J 49/04
, G01N 27/62 G
, H01J 49/26
