SiC種結晶の外周壁を有する種結晶ホルダ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口巖
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-509584
公開番号（公開出願番号）：特表2003-504297
出願日： 2000年07月04日
公開日（公表日）： 2003年02月04日
要約：

【要約】坩堝内のSiC種結晶を保持するSiC種結晶ホルダを提供する。種結晶ホルダ(20)はSiC種結晶(10)の表側(11)にSiC体積単結晶(15)が成長中に、SiC種結晶を保持固定する。このホルダはSiC種結晶の裏側(12)用に上載せ面(29)を有する裏側部材(28)と、この裏側部材及びSiC種結晶を容れるための外周壁(30)から成る。この外周壁はSiC種結晶に面する末端に突出部(31)を含んでおり、この突出部上にSiC種結晶を載せる。

請求項（抜粋）：

SiC種結晶(10、10a、10b、16)の表側(11)に成長するSiC体積単結晶(15)の成長中に、坩堝の内部のSiC種結晶(10、10a、10b、16)を保持するための種結晶ホルダが、-SiC種結晶(10、10a、10b、16)の裏側(12)用に上載せ面 (29)を有する少なくとも1つの裏側部材(28)と、-この裏側部材(28)とSiC種結晶(10、10a、10b、16)用の少なくとも1つの外周壁(30)を含み、その際-この外周壁(30)が、SiC種結晶(10、10a、10b、16)のその表側(11)の縁の部分が載る少なくとも1つの突出部(31)から成ることを特徴とする坩堝内のSiC種結晶(10、10a、10b、16)を保持するSiC種結晶ホルダ。

Fターム (6件)：

4G077AA02 , 4G077BE08 , 4G077DA18 , 4G077EG11 , 4G077SA01 , 4G077SA12

引用特許：

審査官引用 (6件)

炭化珪素単結晶の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-282223 出願人：昭和電工株式会社
窒化アルミニウム、炭化珪素、及び窒化アルミニウム:炭化珪素合金のバルク単結晶の製造
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-576088 出願人：クリーインコーポレイテッド
単結晶を製造するための種結晶、種結晶の使用方法並びにSiC単結晶或いは単結晶SiC膜の製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-508802 出願人：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト

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