特許
J-GLOBAL ID：200903036324603760

顕微ラマン分光システム

発明者：
石浜傑

石浜傑 について

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上田勝英

上田勝英 について

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服部裕允

服部裕允 について

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村石修一

村石修一 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について

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日本電子ライオソニック株式会社

日本電子ライオソニック株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-326572
公開番号（公開出願番号）：特開2001-215193
出願日： 2000年10月26日
公開日（公表日）： 2001年08月10日
要約：
【要約】【課題】ラマン分光法特有の分析能力を有効に利用でき、しかも、異物検査装置によって得られた異物情報をも利用することができる顕微ラマン分光システムを提供する。【解決手段】予め別の異物検査装置により求められた異物の位置情報に基づいて光学顕微鏡下にその異物の像を再現する機能を備えたステージを採用した。また、内蔵されたデータベースに基づいて、測定された異物のラマンスペクトルから異物の物質名を検索する機能を備えた。また、ラマン分析用光学系とラマン分光計との間を光ファイバで結んだ。
請求項（抜粋）：
ウェハ上の異物の形状を観察するための光学顕微鏡と、ウェハ上の異物を光学顕微鏡の視野内に移送する機能を有するステージと、ウェハをウェハカセットから取り出してステージにセットするウェハ搬送機構と、ウェハ上の異物の化学結合を励起する少なくとも1台のラマン励起用レーザと、ラマン励起用レーザの光軸を前記光学顕微鏡の光軸に一致させてウェハ上の異物にレーザ光を照射すると共に、レーザ光によって励起された異物から放出されるラマン散乱光を光学顕微鏡の光軸から取り出す為に設けられた少なくとも1台のラマン分析用光学系と、前記ラマン分析用光学系によってウェハ上の異物から取り出されたラマン散乱光を分光分析するラマン分光計と、前記ステージ、ウェハ搬送機構、及びラマン分光計を制御する制御手段とから成る顕微ラマン分光システムであって、前記制御手段は、予め別の異物検査装置により求められた異物の位置情報に基づいて、ウェハがセットされた前記ステージを駆動し、光学顕微鏡の視野内にその異物の像を再現させるようにしたことを特徴とする顕微ラマン分光システム。
IPC (4件)：
G01N 21/65 ,  G01J 3/44 ,  G01N 21/956 ,  H01L 21/66
FI (5件)：
G01N 21/65 ,  G01J 3/44 ,  G01N 21/956 A ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/66 Z
Fターム (48件)：
2G020BA05 ,  2G020BA17 ,  2G020CA01 ,  2G020CA04 ,  2G020CB23 ,  2G043AA01 ,  2G043AA03 ,  2G043CA07 ,  2G043DA05 ,  2G043EA01 ,  2G043EA03 ,  2G043FA01 ,  2G043FA02 ,  2G043GA01 ,  2G043GB01 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043HA05 ,  2G043HA09 ,  2G043JA03 ,  2G043KA09 ,  2G043LA03 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AC11 ,  2G051BA10 ,  2G051CA20 ,  2G051CB05 ,  2G051CC17 ,  2G051DA03 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106CA41 ,  4M106CA42 ,  4M106CA43 ,  4M106CB21 ,  4M106DB03 ,  4M106DB04 ,  4M106DB18 ,  4M106DH01 ,  4M106DH12 ,  4M106DH32 ,  4M106DH60 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ07 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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