特許
J-GLOBAL ID：200903036325711159
部品実装ツールとそれによる部品実装方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-254963
公開番号（公開出願番号）：特開2000-091385
出願日： 1998年09月09日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：
【要約】【課題】 超音波接合を伴い部品を実装対象物に実装するのに、振動特性の低下なく吸着面の耐摩耗性が向上し、必要に応じ超音波振動で吸着面の再生を短時間で図って部品の接合を続けられるようにする。【解決手段】 ステンレス鋼製で吸着面14aが硬化処理層14bよりなるものにするか、吸着面14aを持つ吸着ヘッド部14cだけ超硬金属製とし、吸着面14aが所定の粗面である吸着ノズル14を用いて吸着した部品3を、実装対象物4に互いの金属接合部5、6を対向させ加圧しながら、吸着ノズル14をその揺動支持点Qと吸着面14aとの間に超音波振動を与えて金属接合部5,6どうしを摩擦させ超音波接合し部品3を実装対象物4に実装しながら、必要に応じ吸着面を研磨などにより再生して、上記のような目的を達成する。
請求項（抜粋）：
ステンレス鋼よりなり、吸着面に硬化処理層を有するとともに表面が所定の面粗度を持つ粗面に形成されていることを特徴とする部品実装ツール。
IPC (3件)：
H01L 21/60 311
, H01L 21/60
, H05K 13/04
H01L 21/60 311 T
, H01L 21/60 311 S
, H05K 13/04 B
4M105DD22
, 4M105EE12
, 4M105EE16
, 4M105FF01
, 5E313AA03
, 5E313AA11
, 5E313CC03
, 5E313EE03
, 5E313EE24
, 5E313EE50
