マスク準備装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金山聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-018276
公開番号（公開出願番号）：特開平11-202473
出願日： 1998年01月16日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：

【要約】【課題】 PDP用の背面板、前面板の作製における、フォトリソ工程に用いられる露光用のマスクの準備を、品質的にも十分対応でき、且つ、効率的にできる、マスク準備装置を提供する。【解決手段】マスク面を鉛直方向にしてマスクを保管するマスク保管庫と、マスク面が鉛直方向の状態から、マスク面が鉛直方向と所定の角θ1をなす傾斜した状態へと相互にマスク保持姿勢を変えることができ、且つマスク面を鉛直な状態で、あるいはマスク面を傾斜させた状態でマスクの取り入れ、取り出しができる、マスクを搬送するためのマスク搬送台車と、マスク面を該所定の角度θ1に傾斜させた状態でマスクを搬送でき、マスク面を該所定の角度θ1に傾斜させた状態で、マスク幅を跨ぎ、該マスク面に沿うように設けた粘着ロールにより、マスク面の洗浄を行うマスク洗浄部と、マスク面を該所定の角度θ1に傾斜させた状態でマスクを搬送でき、マスク面を該所定の角度θ1に傾斜させた状態でマスクの凹欠陥、凸欠陥等の形状欠陥の検査修正を行うマスク検査修正部とを備えている。

請求項（抜粋）：

大型のエマルジョンマスクからなる露光用マスクの準備装置であって、マスク面を鉛直方向にしてマスクを保管するマスク保管庫と、マスク面が鉛直方向の状態から、マスク面が鉛直方向と所定の角θ1をなす傾斜した状態へと相互にマスク保持姿勢を変えることができ、且つマスク面を鉛直な状態で、あるいはマスク面を傾斜させた状態でマスクの取り入れ、取り出しができる、マスクを搬送するためのマスク搬送台車と、マスク面を該所定の角度θ1に傾斜させた状態でマスクを搬送でき、マスク面を該所定の角度θ1に傾斜させた状態で、マスク幅を跨ぎ、該マスク面に沿うように設けた粘着ロールにより、マスク面の洗浄を行うマスク洗浄部と、マスク面を該所定の角度θ1に傾斜させた状態でマスクを搬送でき、マスク面を該所定の角度θ1に傾斜させた状態でマスクの凹欠陥、凸欠陥等の形状欠陥の検査修正を行うマスク検査修正部とを備え、マスク搬送台車とマスク洗浄部、およびマスク洗浄部とマスク検査修正部とは、マスク面を所定の角度θ1に傾斜させた状態で、それぞれ、両者間でマスクの受け渡しができるものであることを特徴とするマスク準備装置。

IPC (4件)：

G03F 1/08 , G03F 1/14 , H01J 9/02 , H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 1/08 S , G03F 1/08 X , G03F 1/14 M , H01J 9/02 F , H01L 21/30 503 E

引用特許：

出願人引用 (8件)

ガラス基板洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-178566 出願人：キヤノン株式会社, キヤノン販売株式会社
特開昭50-057257
特開昭58-182826

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