特許
J-GLOBAL ID：200903037972076054
エッチング液組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
葛和 清司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-269643
公開番号（公開出願番号）：特開2002-164332
出願日： 2001年09月06日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：
【要約】【課題】 発泡性が抑えられかつエッチング後の残渣を生じない、透明導電膜用エッチング液を提供する。【解決手段】 透明導電膜用エッチング液と、ポリスルホン酸化合物及びポリオキシエチレン-ポリオキシプロピレンブロックコポリマーからなる群から選択される1種または2種以上の化合物とを含有する、エッチング液組成物。
請求項（抜粋）：
透明導電膜用エッチング液と、ポリスルホン酸化合物及びポリオキシエチレン-ポリオキシプロピレンブロックコポリマーからなる群から選択される1種または2種以上の化合物とを含有する、エッチング液組成物。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/308 C
, C09K 13/06
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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