特許
J-GLOBAL ID：200903038058889426
波長変換素子及び波長変換素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-092398
公開番号（公開出願番号）：特開平11-271826
出願日： 1998年03月20日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：
【要約】【課題】 MgO基板と、光導波路としてのKNbO3膜とを有する波長変換素子において、内部歪みが少なく、且つ波長変換の変換特性が良好な波長変換素子を提供する。【解決手段】 MgOよりなる基板1と、光が伝播するKNbO3膜3と、基板とKNbO3膜との間に形成されたKTaXNb(1-X)O3膜2と、を備え、KTaXNb(1-X)O3膜2におけるTaの混合比Xの値が、当該KTaXNb(1-X)O3膜2の基板1に接する面で40原子%以上60原子%以下であると共にKNbO3膜3に接する面で0%となり、且つ、KTaXNb(1-X)O3膜2の基板1に接する面からKNbO3膜3に接する面に向かう方向に単調減少している。
請求項（抜粋）：
MgOよりなる基板と、光が伝播するKNbO3膜と、前記基板と前記KNbO3膜との間に形成されたKTaXNb(1-X)O3膜と、を備え、前記KTaXNb(1-X)O3膜におけるTaの混合比Xの値が、当該KTaXNb(1-X)O3膜の前記基板に接する面で40原子%以上60原子%以下であると共に前記KNbO3膜に接する面で0原子%となり、且つ、前記KTaXNb(1-X)O3膜の前記基板に接する面から前記KNbO3膜に接する面に向かう方向に減少していることを特徴とする波長変換素子。
引用特許：
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