特許
J-GLOBAL ID:200903038534846153

熱処理装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 小谷 悦司 ,  伊藤 孝夫 ,  樋口 次郎 ,  玉串 幸久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-135291
公開番号(公開出願番号):特開2008-292012
出願日: 2007年05月22日
公開日(公表日): 2008年12月04日
要約:
【課題】熱処理の際に被熱処理物から発生した昇華物を気体導出孔以降へ流出し難くすることができる熱処理装置を提供する。【解決手段】互いに連通する加熱室12と熱処理室11とを内蔵する装置本体10の熱処理室11に被熱処理物Wが出し入れ可能に収容され、かつ装置本体10の加熱室12に対応する箇所に設けた気体導入孔14から導入した熱処理用気体を加熱室12で加熱することにより被熱処理物Wを熱処理し、装置本体10の熱処理室11に対応する箇所に設けた気体導出孔16から熱処理済みの気体を導出する熱処理装置1Aにおいて、熱処理済みの気体に含まれる被熱処理物Wから発生した昇華物Aを分解するための触媒22が、気体導出孔16の入口16aを塞ぐように設けられている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
互いに連通する加熱室と熱処理室とを内蔵する装置本体の前記熱処理室に被熱処理物が出し入れ可能に収容され、かつ前記装置本体の前記加熱室に対応する箇所に設けた気体導入孔から導入した熱処理用気体を前記加熱室で加熱することにより上記被熱処理物を熱処理し、前記装置本体の前記熱処理室に対応する箇所に設けた気体導出孔から熱処理済みの気体を導出する熱処理装置において、 前記熱処理済みの気体に含まれる前記被熱処理物から発生した昇華物を分解するための触媒が、前記気体導出孔の入口を塞ぐように設けられていることを特徴とする熱処理装置。
IPC (2件):
F27D 17/00 ,  F27D 7/04
FI (2件):
F27D17/00 104G ,  F27D7/04
Fターム (7件):
4K056AA09 ,  4K056CA18 ,  4K056DB02 ,  4K063AA05 ,  4K063BA12 ,  4K063DA13 ,  4K063DA26
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (2件)
  • 特開平4-333361
  • 特開平4-333361

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