特許
J-GLOBAL ID：200903078750823488

基板焼成炉の給排気方法

発明者：
村岡 祐介

村岡 祐介 について

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宮路 恭祥

宮路 恭祥 について

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長嶋 靖

長嶋 靖 について


出願人/特許権者：
株式会社フューチャービジョン

株式会社フューチャービジョン について

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光洋サーモシステム株式会社

光洋サーモシステム株式会社 について


代理人 (2件)： 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-188665
公開番号（公開出願番号）：特開2008-304182
出願日： 2008年07月22日
公開日（公表日）： 2008年12月18日
要約：
【課題】エネルギー効率が高い基板焼成炉の給排気システムを提供する。【解決手段】炉体10にて加熱されるガラス基板Wからは多量の有機物が発生する。炉体10の排気口14からは有機物を含む熱排気が排出され、ファン21によって循環経路20に熱風の気流として送り出され、その気流がヒータ22によって加熱された後に耐熱HEPAフィルタ13によって浄化されて吹き出し口12から炉体10の内部空間に再供給される。熱排気の一部は排気管30に流れ込んで触媒ユニット31を通過する。触媒ユニット31では有機物の熱分解と酸化分解とが同時に生じ、排気気体中に含まれる有機物のほとんどが分解され、触媒ユニット31の入口側温度よりも出口側温度が約200°C上昇する。高温の排気気体が熱交換器50に流入して給気気体との熱交換が行われることとなり、エネルギー効率を良好なものとすることができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
加熱されることによって有機物を発生する基板を収容して焼成処理を行う炉体と、前記炉体から排出された熱風を循環させて再度前記炉体に供給する循環経路と、前記循環経路に設けられて熱風を循環させるファンと、前記循環経路に設けられて熱風を加熱するヒータと、を有する基板焼成炉と、 前記循環経路から分岐されて熱風を排出する排気経路と、 前記排気経路に設けられ、前記循環経路から排出された熱風に含まれる有機物を酸素を含む雰囲気中にて分解する触媒を有する触媒ユニットと、 前記触媒ユニットから排出された熱風と前記循環経路に新たに供給する気体との熱交換を行う熱交換器と、 を備えることを特徴とする基板焼成炉の給排気システム。
IPC (5件)：
F27D 7/02 ,  F27D 7/04 ,  F27D 17/00 ,  F27D 19/00 ,  F27B 17/00
FI (6件)：
F27D7/02 A ,  F27D7/04 ,  F27D17/00 101D ,  F27D17/00 104G ,  F27D19/00 Z ,  F27B17/00 B
Fターム (20件)：
4K056AA09 ,  4K056AA12 ,  4K056CA18 ,  4K056DA02 ,  4K056DA26 ,  4K056DA36 ,  4K056DB02 ,  4K056FA01 ,  4K063AA06 ,  4K063BA12 ,  4K063CA01 ,  4K063CA05 ,  4K063DA05 ,  4K063DA06 ,  4K063DA13 ,  4K063DA15 ,  4K063DA24 ,  4K063DA26 ,  4K063DA31 ,  4K063DA33
引用特許：
出願人引用 (17件)
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審査官引用 (17件)
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