特許
J-GLOBAL ID:200903038626489780
半導体ウェーハ用研磨ローラおよびこれを用いた半導体ウェーハの研磨方法
発明者:
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出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
安倍 逸郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-339897
公開番号(公開出願番号):特開2001-156030
出願日: 1999年11月30日
公開日(公表日): 2001年06月08日
要約:
【要約】【課題】 研磨レートが高められ、同時に研磨時の加工ダメージも低減される半導体ウェーハの研磨ローラおよびこれを用いた半導体ウェーハの研磨方法を提供する。【解決手段】 研磨砥粒を含むスラリーを供給しながら研磨ローラ10A,10Bを回転させ、回転中の研磨ローラ10A,10Bと、シリコンウェーハWの表裏面,面取り面とを接触させて研磨する。研磨ローラ10A,10Bは、従来の研磨布に比べ硬度が大きく研磨速度が速い。結果、研磨レートが高まる。しかも、研磨ローラ10A,10Bは合成樹脂製のローラ本体の研磨作用面に粒径1μm以下の研磨砥粒が固定されたローラである。よって微細な研磨砥粒でシリコンウェーハWの面が高精度に研磨され、その時の加工ダメージも抑えられる。
請求項(抜粋):
半導体ウェーハの所定の面を研磨する半導体ウェーハ用研磨ローラであって、合成樹脂製のローラ本体の研磨作用面に微細な研磨砥粒が固定された半導体ウェーハ用研磨ローラ。
IPC (5件):
H01L 21/304 622
, H01L 21/304 621
, B24B 9/00 601
, B24B 37/00
, B24D 3/00 350
FI (5件):
H01L 21/304 622 F
, H01L 21/304 621 E
, B24B 9/00 601 H
, B24B 37/00 Z
, B24D 3/00 350
Fターム (20件):
3C049AA03
, 3C049AB01
, 3C049AB06
, 3C049AC04
, 3C049CA01
, 3C049CB01
, 3C058AA04
, 3C058AA09
, 3C058AB01
, 3C058AB06
, 3C058AC04
, 3C058CB10
, 3C058DA17
, 3C063AA02
, 3C063AB03
, 3C063BB02
, 3C063BB03
, 3C063BB07
, 3C063BC03
, 3C063EE10
引用特許:
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