特許

J-GLOBAL ID：200903039026663120

セラミックス光学部品及びその製造方法

発明者： 日向 秀樹 ,  北 英紀 ,  山崎 徹也 ,  田中 康則
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  富士フイルム株式会社 ,  フジノン株式会社
代理人 (1件)： 須藤 政彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-032016
公開番号（公開出願番号）：特開2007-238430
出願日： 2007年02月13日
公開日（公表日）： 2007年09月20日
要約：

【課題】従来のポリマー製光学部品に代替可能なセラミックス光学部品を提供する。【解決手段】黒色を呈する光学部材用セラミックス材料であって、セラミックス原料と黒色化を促す成分を含む混合物の成形体を反応焼結を利用して合成した反応焼結セラミックス焼結体からなり、多孔質体であり、可視光域での反射率が20%以下であり、上記セラミックスの表面が未加工の焼成面である、ことを特徴とするセラミックス材料、その製造方法、及びセラミックス光学部品。【効果】本発明によれば、可視光域での反射が小さく、焼成のみで、精度よく光学部品として使用可能な光学部材用セラミックス材料、及び低環境負荷型のセラミックス光学部品を製造し、提供することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

黒色を呈する光学部材用セラミックス材料であって、セラミックス原料と黒色化を促す成分を含む混合物の成形体を、反応焼結を利用して合成した反応焼結セラミックス焼結体であり、多孔質体であることを特徴とする光学部材用セラミックス材料。

IPC (3件)：

C04B 35/00 ,  G02B 1/00 ,  C04B 35/65

FI (3件)：

C04B35/00 H ,  G02B1/00 ,  C04B35/65

Fターム (25件)：

4G030AA11 ,  4G030AA12 ,  4G030AA14 ,  4G030AA16 ,  4G030AA17 ,  4G030AA18 ,  4G030AA21 ,  4G030AA22 ,  4G030AA23 ,  4G030AA24 ,  4G030AA27 ,  4G030AA28 ,  4G030AA35 ,  4G030AA36 ,  4G030AA46 ,  4G030AA47 ,  4G030AA50 ,  4G030AA51 ,  4G030AA52 ,  4G030AA60 ,  4G030BA14 ,  4G030BA15 ,  4G030CA01 ,  4G030CA09 ,  4G030GA23

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 黒色低熱膨張セラミックスおよび露光装置用部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-015409   出願人：住友金属工業株式会社
• 低熱膨張黒色セラミックス及びその製造方法、並びに半導体製造装置用部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-149384   出願人：京セラ株式会社

審査官引用 (4件)

• 窒化ケイ素質フィルタの製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-205853   出願人：旭硝子株式会社
• 黒色窒化珪素質焼結体とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-351492   出願人：新日本製鐵株式会社, 黒崎窯業株式会社
• 多孔質窒化ケイ素セラミックスおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-006821   出願人：住友電気工業株式会社
• 半導体構造素子のための窒化ケイ素を基礎とする支持体
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-547862   出願人：ハーツエーシュタルクセラミックスゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツングウントコンパニーコマンディートゲゼルシャフト

引用文献：

審査官引用 (2件)

• ZrO2を添加した反応焼結窒化ケイ素(窒化挙動と物性)
• 2成分系化合物添加による反応焼結Si3N4の低熱伝導化(第1報)-Al2tiO5添加複合材の作成と特