基板用トレイ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小山有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-380124
公開番号（公開出願番号）：特開2004-209340
出願日： 2002年12月27日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：

【課題】塗布工程において好適な基板搬送と処理を兼ねるトレイを提供する。【解決手段】基板Wのストックステーションと処理ステーションとが隣接し、処理ステーションにはコーティング部、被膜形成部、洗浄部および乾燥部が設けられ、表面に基板を嵌め込む凹部を形成したトレイ50が搬送装置によって前記コーティング部、被膜形成部、洗浄部および乾燥部を循環移動する。そして、トレイ50にはプリディスペンスエリア52、独立した吸引通路及び一段深くなった溝部が設けられている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板の搬送と塗布処理に兼用して用いるトレイであって、このトレイには基板が嵌り込む凹部が形成され、この凹部の深さは基板の厚さと略等しくされ、且つ凹部の外周縁若しくは外周縁より若干内側に、一段深くなった溝部が形成されていることを特徴とする基板用トレイ。

IPC (3件)：

B05C13/02 , B65D85/38 , H01L21/68

FI (4件)：

B05C13/02 , H01L21/68 N , H01L21/68 U , B65D85/38

Fターム (37件)：

3E096BA17 , 3E096BB04 , 3E096CA06 , 3E096DA05 , 3E096DA18 , 3E096DB06 , 3E096DC01 , 3E096FA30 , 3E096FA31 , 3E096GA13 , 4F042AA02 , 4F042AA07 , 4F042AB00 , 4F042DF09 , 4F042DF15 , 4F042DF29 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031DA13 , 5F031EA18 , 5F031EA19 , 5F031EA20 , 5F031FA01 , 5F031FA03 , 5F031FA07 , 5F031FA12 , 5F031HA05 , 5F031HA14 , 5F031HA33 , 5F031HA34 , 5F031HA48 , 5F031HA80 , 5F031MA02 , 5F031MA03 , 5F031MA06 , 5F031MA23 , 5F031MA26

引用特許：

審査官引用 (6件)

処理基板トレイ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-239213 出願人：タツモ株式会社
流体塗布装置および流体塗布方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-044054 出願人：平田機工株式会社
特開平2-177033

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