特許
J-GLOBAL ID：200903039607988250
X線検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
鹿島 義雄
, 甲斐 寛人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-312949
公開番号（公開出願番号）：特開2007-121085
出願日： 2005年10月27日
公開日（公表日）： 2007年05月17日
要約：
【課題】 測定点間を移動する際の被測定物とX線測定光学系との衝突を予測し、衝突防止を図る。【解決手段】 X線源11とX線検出器12との間に被測定物Sが位置するように被測定物を載置するためのステージ14と、駆動機構15とを備え、ステージ上に載置された被測定物の複数の測定点についてのX線検査を行うX線検査装置1において、光学カメラ画像に基づいて被測定物の立体形状を抽出する立体形状抽出部36と、測定点に関する位置情報の入力を受ける測定点情報入力部37と、測定点間を最短経路で移動させるときに移動中の被測定物が通過する範囲を抽出する通過範囲抽出部38と、X線測定光学系13と被測定物の通過範囲との位置関係とに基づいて衝突可能性を判定する衝突判定部41と、衝突可能性がある場合に回避ルートを算出する回避ルート算出部42とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
透視用X線を照射するX線源と被測定物の透視X線像を撮影するX線検出器とからなるX線測定光学系と、X線源とX線検出器との間に被測定物が位置するように被測定物を載置するためのステージと、少なくともステージを並進駆動する駆動機構とを備え、
ステージに対する被測定物の位置関係が定まるようにしてステージ上に載置された被測定物の複数の測定点についてのX線検査を行うX線検査装置において、
光学カメラにより撮影した光学カメラ画像に基づいて被測定物の外観を形成する立体形状または外観を包含する立体形状を抽出する立体形状抽出部と、
測定点に関する位置情報の入力を受ける測定点情報入力部と、
測定点間を最短経路で移動させるときに抽出した立体形状に基づいて移動中の被測定物が通過する範囲を抽出する通過範囲抽出部と、
X線測定光学系と被測定物の通過範囲との位置関係とに基づいて衝突可能性を判定する衝突判定部と、
衝突可能性がある場合に回避ルートを算出する回避ルート算出部とを備えたことを特徴とするX線検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (29件)：
2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001DA01
, 2G001DA02
, 2G001DA09
, 2G001FA06
, 2G001GA04
, 2G001GA05
, 2G001GA08
, 2G001GA13
, 2G001HA07
, 2G001HA09
, 2G001HA10
, 2G001HA12
, 2G001HA13
, 2G001JA01
, 2G001JA06
, 2G001JA07
, 2G001JA11
, 2G001JA12
, 2G001JA13
, 2G001JA16
, 2G001LA20
, 2G001PA11
, 2G001PA12
, 2G001PA14
, 2G001PA16
, 2G001QA01
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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引用文献：
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