特許
J-GLOBAL ID：200903039680726824

音叉型水晶振動子素子の製造方法

発明者：
市川 了一

市川 了一 について


出願人/特許権者：
日本電波工業株式会社

日本電波工業株式会社 について


代理人 (2件)： 船津 暢宏 ,  阪本 清孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-276388
公開番号（公開出願番号）：特開2008-098824
出願日： 2006年10月10日
公開日（公表日）： 2008年04月24日
要約：
【課題】 従来の音叉型水晶振動子素子の製造方法では、腕部の付け根に相当する股部においてショート不良が発生しやすいという問題点があり、現行の製造プロセスに簡単な工程を追加するだけで、股部におけるショートの発生を防ぎ、歩留まりを大幅に向上させることができる音叉型水晶振動子素子の製造方法を提供する。【解決手段】 水晶ウエハ上で、音叉型に加工された水晶基板上に蒸着又はスパッタリングにより金属膜を形成して、フォトリソグラフィ/エッチングにより当該金属膜を所望の電極及び配線の形状にパターニングした後、股部30にウエハ面に対して略垂直の方向からレーザ照射を行って、エッチング残りの金属膜を除去する音叉型水晶発振子素子の製造方法である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基部と、基部から突出して形成されている腕部とを備えた音叉型水晶振動子素子の製造方法であって、 金属電極パターン形成後に、前記腕部の付け根部分に相当する股部にレーザ照射を行う工程を備えたことを特徴とする音叉型水晶振動子素子の製造方法。
IPC (7件)：
H03H 3/02 ,  H03H 9/215 ,  H03H 9/19 ,  H01L 21/302 ,  H01L 21/306 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18
FI (7件)：
H03H3/02 D ,  H03H9/215 ,  H03H9/19 L ,  H01L21/302 201B ,  H01L21/302 104C ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101A
Fターム (15件)：
5F004AA14 ,  5F004BA20 ,  5F004BB03 ,  5F004DB08 ,  5F004EA28 ,  5F004EB02 ,  5F004FA05 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108GG16 ,  5J108KK02 ,  5J108MM14 ,  5J108NA03
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (2件)

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