特許
J-GLOBAL ID:200903039748831460
表面処理方法及び表面処理装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
西川 惠清 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-342415
公開番号(公開出願番号):特開2002-144231
出願日: 2000年11月09日
公開日(公表日): 2002年05月21日
要約:
【要約】【課題】 ブラスト処理によるクリーニングで不可避的に発生する被処理物の汚染を除去してクリーニング性能を高めることができる表面処理方法を提供する。【解決手段】 被処理物1の表面に粒子2を衝突させることにより被処理物1の表面を処理する。次いで、被処理物1の表面にプラズマ3を供給することにより被処理物1の表面を洗浄する。ブラスト処理によって、粒子2の衝突により剥離して汚染物が飛散して被処理物1の表面に再付着したり、粒子2中や高圧ガス中に混在している不純物が被処理物1の表面に吹き付けられて付着したり、粒子2が被処理物1の表面に衝突することにより粒子2の成分が被処理物1の表面に付着したりして被処理物1の表面が汚染されるが、この汚染をプラズマ処理によるクリーニングで除去することができる。
請求項(抜粋):
被処理物の表面に粒子を衝突させることにより被処理物の表面を処理し、次いで、被処理物の表面にプラズマを供給することにより被処理物の表面を洗浄することを特徴とする表面処理方法。
IPC (7件):
B24C 1/00
, B08B 3/02
, B08B 7/00
, B08B 7/04
, B24C 3/32
, B24C 11/00
, H05H 1/30
FI (9件):
B24C 1/00 Z
, B08B 3/02 Z
, B08B 7/00
, B08B 7/04 Z
, B24C 3/32 D
, B24C 11/00 E
, B24C 11/00 B
, B24C 11/00 D
, H05H 1/30
Fターム (20件):
3B116AA02
, 3B116AA21
, 3B116BA06
, 3B116BB21
, 3B116BB82
, 3B116BB88
, 3B116BB89
, 3B116BB90
, 3B116BC01
, 3B201AA02
, 3B201AA21
, 3B201BA06
, 3B201BB21
, 3B201BB82
, 3B201BB88
, 3B201BB89
, 3B201BB90
, 3B201BB92
, 3B201BC01
, 3B201CB01
引用特許:
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