特許
J-GLOBAL ID:200903040115771113
固体撮像素子の画素構造
発明者:
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,
出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
上島 淳一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-125309
公開番号(公開出願番号):特開2009-277738
出願日: 2008年05月12日
公開日(公表日): 2009年11月26日
要約:
【課題】フォトダイオード内における残留電子を低減する。【解決手段】フォトダイオードに隣接して配置され、フォトダイオードで発生した電子の読み出しを制御する第1段のゲートと、第1段のゲートの後段に所定の間隙を開けて隣接するとともに、第1段のゲートの読み出し制御により読み出された電子の複数の電荷蓄積部への移動を制御する第2段のゲートと、第2段のゲートの後段に所定の間隙を開けて隣接するとともに、複数の電荷蓄積部のそれぞれに対応してそれぞれ配置され、第2段のゲートの移動制御により移動された電子を複数の電荷蓄積部へそれぞれ分配する制御を行う複数の第3段のゲートとを有し、フォトダイオードのポテンシャルに第1段のゲート方向へ電子を移動させる勾配を形成した。【選択図】 図8
請求項(抜粋):
光電変換により発生した電子を分配して電荷蓄積を行う固体撮像素子の画素構造において、
光電変換により電子を発生するフォトダイオードと、
前記フォトダイオードで発生された電子を蓄積する複数の電荷蓄積部と、
前記フォトダイオードと前記電荷蓄積部との間に配置され、前記フォトダイオードで発生された電子の前記複数の電荷蓄積部への転送を制御するゲート構造と
を有し、
前記ゲート構造は、3段のゲートよりなり、
前記3段のゲートは、
前記フォトダイオードに隣接して配置され、前記フォトダイオードで発生した電子の読み出しを制御する第1段のゲートと、
前記第1段のゲートの後段に所定の間隙を開けて隣接するとともに、前記第1段のゲートの読み出し制御により読み出された電子の前記複数の電荷蓄積部への移動を制御する第2段のゲートと、
前記第2段のゲートの後段に所定の間隙を開けて隣接するとともに、前記複数の電荷蓄積部のそれぞれに対応してそれぞれ配置され、前記第2段のゲートの移動制御により移動された電子を前記複数の電荷蓄積部へそれぞれ分配する制御を行う複数の第3段のゲートと
を有し、
前記フォトダイオードのポテンシャルに前記第1段のゲート方向へ電子を移動させる勾配を形成した
ことを特徴とする固体撮像素子の画素構造。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (10件):
4M118BA14
, 4M118CA03
, 4M118CA04
, 4M118CA18
, 4M118CA20
, 4M118DA21
, 4M118DA23
, 4M118DB13
, 4M118EA01
, 4M118EA14
引用特許:
出願人引用 (11件)
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光飛行時間型距離センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-041057
出願人:国立大学法人静岡大学
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距離情報入力装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-177387
出願人:オリンパス光学工業株式会社
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電荷結合素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-089434
出願人:富士写真フイルム株式会社
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電荷転送装置及びこれを用いた固体撮像装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-347539
出願人:ソニー株式会社
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特開平4-328836
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光電変換素子及び光電変換装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-035796
出願人:株式会社ニコン
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固体撮像素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-314391
出願人:ソニー株式会社
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特開昭63-313862
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固体撮像装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-265387
出願人:松下電器産業株式会社
-
距離情報入力装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-050178
出願人:オリンパス光学工業株式会社
-
半導体撮像装置及びイメージセンサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-330318
出願人:株式会社東芝
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審査官引用 (10件)
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距離情報入力装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-177387
出願人:オリンパス光学工業株式会社
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電荷結合素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-089434
出願人:富士写真フイルム株式会社
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電荷転送装置及びこれを用いた固体撮像装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-347539
出願人:ソニー株式会社
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特開平4-328836
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光電変換素子及び光電変換装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-035796
出願人:株式会社ニコン
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固体撮像素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-314391
出願人:ソニー株式会社
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特開昭63-313862
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固体撮像装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-265387
出願人:松下電器産業株式会社
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距離情報入力装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-050178
出願人:オリンパス光学工業株式会社
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半導体撮像装置及びイメージセンサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-330318
出願人:株式会社東芝
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