特許
J-GLOBAL ID：200903040170971636

ウェーハの研削加工装置

発明者：
溝本 康隆

溝本 康隆 について

, 
堤 義弘

堤 義弘 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 末成 幹生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-136281
公開番号（公開出願番号）：特開2008-258554
出願日： 2007年05月23日
公開日（公表日）： 2008年10月23日
要約：
【課題】ウェーハの裏面を研削する研削加工装置において、保持手段の回転軸の傾きの調整を容易にすることで、生産効率およびウェーハの品質の向上を図る。【解決手段】チャックテーブル20に回転軸20aを傾かせる傾斜調整手段100を設ける。この傾斜調整手段100は、様々なウェーハの研削条件と、その研削条件に適合した回転軸20aの角度の調整値とを記憶する研削条件記憶手段120により制御される。ウェーハ1の研削条件を研削条件記憶手段120で選択することで、研削条件記憶手段120から傾斜調整手段100に命令が伝達される。これにより、モータ101が動き、ボルト部材102と、調整梃子103と、調整ブロック105とが連動するとともに、フランジ23が支持部23aを支点として傾く。その結果、チャックテーブル20の回転軸20aは、ウェーハ1の研削条件に沿った角度に傾く。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
表面にデバイスが形成され、該表面に保護部材が被覆されたウェーハを、裏面が露出する状態で保持する保持面を有する回転可能な保持手段と、 該保持手段の回転軸の傾きを基本角度から任意の角度に調整する傾斜調整手段と、 該保持手段の前記保持面に対向配置され、前記基本角度の状態の前記保持手段の前記回転軸と平行な回転軸を有する研削手段と、 前記保持手段と前記研削手段とを、研削手段の前記回転軸に沿って相対移動させて互いに接近・離間させるとともに、接近時に前記研削手段によって前記ウェーハの裏面を研削して該ウェーハの厚さを減じさせる送り手段とを有するウェーハ研削装置において、 ウェーハの研削条件を記憶する研削条件記憶手段が設けられるとともに、該研削条件記憶手段に記憶された該保持手段の傾き角度に基づいて、前記傾斜調整手段によって保持手段の回転軸の傾きを調整する制御手段を有することを特徴とするウェーハの研削加工装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 ,  B24B 41/06 ,  B24B 7/22
FI (3件)：
H01L21/304 631 ,  B24B41/06 L ,  B24B7/22 Z
Fターム (5件)：
3C034AA08 ,  3C034CB08 ,  3C034DD07 ,  3C034DD10 ,  3C043BB00
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (6件)
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